公开(公告)号：CN117368522A

公开(公告)日：2024-01-09

申请号：CN202311206849.X

申请日：2023-09-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 司马朝坦 ,  洪敏志 ,  鲁平 ,  凌浩

IPC: G01P15/093 ,  G01P1/00

Abstract: 本发明公开了一种弹性悬臂梁、光纤加速度传感装置及系统，属于光纤传感技术领域，弹性悬臂梁包括U型梁体结构，梁体结构的梁臂直径沿梁体结构开口端方向逐渐增大；梁臂之间设有镂空部，镂空部的宽度沿所述梁体开口端方向逐渐增大，多个梁体结构平行排列并通过连接部相连接从而形成多周期折叠结构。本发明提出的弹性悬臂梁，通过设计宽度渐变型多周期折叠悬臂梁用于加速度信号传感，在同等尺寸下，该悬臂梁结构相对常规弹性悬臂梁能够显著增加受力时的形变量，因此能够提高传感结构的加速度信号探测灵敏度，有利于实现高灵敏度、低噪声水平的加速度信号探测。

公开(公告)号：CN115754348A

公开(公告)日：2023-03-07

申请号：CN202211351659.2

申请日：2022-10-31

Applicant: 华中科技大学 ,  武汉光谷光联网科技有限公司

Inventor： 鲁平 ,  瞿致远 ,  凌浩 ,  刘德明

IPC: G01P15/03

Abstract: 本发明公开了一种加速度传感结构、传感器、推挽式传感系统及制备方法。一种加速度传感结构，包括：质量块、弹性悬臂梁和基片框架，质量块设置于基片框架的中央位置；四个弹性悬臂梁对称设置于质量块的两侧，用于连接基片框架和质量块，质量块设置弹性悬臂梁的两侧镀有高反射率薄膜，形成反射面，与光纤形成光学微腔，光纤的一端与反射面连接，另一端连接信号光电探测器；质量块为矩形，加速度传感结构的传感方向在硅基片平面，且与质量块的短边平行。实现了加速度传感结构尺寸微型化、高灵敏度低噪声信号探测和低成本大批量生产的有益效果。