公开(公告)号：CN111360409B

公开(公告)日：2021-01-05

申请号：CN202010324290.0

申请日：2020-04-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 舒学文 ,  于琦

IPC: B23K26/352

Abstract: 本发明属于光子器件加工领域，具体涉及一种抛物线型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法及装置，包括：获取飞秒激光加工参数，包括在光纤轴向中心剖面内的轴向平行的线段条数、线段长度分布，所有线段构成的整体边缘轮廓呈抛物线型且最长和最短线段对称位于光纤中心轴线两侧；基于加工参数控制飞秒激光脉冲垂直入射至剖面上，使得飞秒激光脉冲按照各条线段轨迹连续曝光扫描以实现对扫描处光纤折射率的调制，完成对有效半径变化分布呈抛物线型的SNAP结构制作，其中，制作得到的该微腔结构的轴向长度与最长线段的长度相等，且该微腔结构的轴向半径与加工参数成正相关。本发明利用飞秒激光实现高精度、灵活可控的抛物线型SNAP微腔结构。

公开(公告)号：CN111360409A

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN202010324290.0

申请日：2020-04-22

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 舒学文 ,  于琦

IPC: B23K26/352

Abstract: 本发明属于光子器件加工领域，具体涉及一种抛物线型表面纳米轴向光子微腔器件的制作方法及装置，包括：获取飞秒激光加工参数，包括在光纤轴向中心剖面内的轴向平行的线段条数、线段长度分布，所有线段构成的整体边缘轮廓呈抛物线型且最长和最短线段对称位于光纤中心轴线两侧；基于加工参数控制飞秒激光脉冲垂直入射至剖面上，使得飞秒激光脉冲按照各条线段轨迹连续曝光扫描以实现对扫描处光纤折射率的调制，完成对有效半径变化分布呈抛物线型的SNAP结构制作，其中，制作得到的该微腔结构的轴向长度与最长线段的长度相等，且该微腔结构的轴向半径与加工参数成正相关。本发明利用飞秒激光实现高精度、灵活可控的抛物线型SNAP微腔结构。