公开(公告)号：CN220359357U

公开(公告)日：2024-01-16

申请号：CN202321022362.1

申请日：2023-04-28

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 齐备 ,  蔡文泰 ,  李晓琼 ,  毛富魏 ,  杨威 ,  万枭

IPC: H04R19/01 ,  H10N30/30 ,  H10N30/50 ,  H10N30/857 ,  G01H11/08

Abstract: 本实用新型公开了一种无弹性体层柔性静电式驻极体声电换能装置，属于能量转换器件领域，本实用新型的驻极体声电换能装置包括依次层叠设置的第一驻极体层、绝缘介电层和第二驻极体层，所述第一驻极体层和第二驻极体层均包括驻极体子层和沉积在所述驻极体子层上的金属导电子层，所述驻极体子层具有多个沿其延伸方向规则排布的弹性结构。该柔性静电式驻极体声电换能装置以驻极体薄膜和绝缘介电层为基础，抛弃了传统的弹性体层，并在驻极体层引入弹性结构，降低了驻极体层的杨氏模量并作为了器件的自支撑结构，且对称的结构能为驻极体层提供更大的形变量，实现了更高的传感性能、优异的灵敏度、电学输出性能以及对声音信号的响应能力。