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公开(公告)号：CN111501029A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010316333.0
申请日：2020-04-21
Applicant: 华东理工大学
Abstract: 本发明提供聚合物接枝工艺简单、附着性良好的带有图案化金属层的硅基材的制造方法。本发明的制造方法包括：准备硅基材，用硅烷化处理剂对硅基材的表面进行硅烷化处理；用包含甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵和光敏催化剂的聚合物刷单体溶液涂覆在硅基材的表面上，然后照射图案化紫外光使甲基丙烯酰氧乙基三甲基氯化铵在光敏催化剂的作用下与硅基材的表面上存在的硅烷发生接枝聚合反应，在硅基材表面上形成图案化的聚合物刷；将硅基材浸入钯催化剂溶液中进行离子交换处理，使钯催化剂结合到聚合物刷上；将所得的硅基材浸入无电金属沉积溶液中，在硅基材的表面形成图案化金属层。本发明的制造方法适用于在硅或二氧化硅基材的表面形成图案化电路等。
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