公开(公告)号：CN107003262A

公开(公告)日：2017-08-01

申请号：CN201580066677.8

申请日：2015-12-11

Applicant: 北陆电气工业株式会社

Inventor： 西田达也 ,  岛田爱子

IPC: G01N27/22

Abstract: 提供即使不形成非透湿保护膜也能够防止多余的湿气的浸入以及排出的电容式湿度传感器。在包围电极(51)与下部电极(31)的周边部的大部分之间形成第1狭缝(4)。感湿膜图案(7)掩埋在包围电极51与下部电极31的周边部的大部分之间形成的第1狭缝(4)，且具备沿着包围电极(51)使该包围电极(51)连续地露出的第2狭缝(8)。上部电极图案(9)被形成为覆盖感湿膜(71)的周边部的大部分。上部电极图案(9)被形成为掩埋感湿膜图案(7)的第2狭缝(8)。

公开(公告)号：CN107003262B

公开(公告)日：2019-10-11

申请号：CN201580066677.8

申请日：2015-12-11

Applicant: 北陆电气工业株式会社

Inventor： 西田达也 ,  岛田爱子

IPC: G01N27/22

Abstract: 提供即使不形成非透湿保护膜也能够防止多余的湿气的浸入以及排出的电容式湿度传感器。在包围电极(51)与下部电极(31)的周边部的大部分之间形成第1狭缝(4)。感湿膜图案(7)掩埋在包围电极51与下部电极31的周边部的大部分之间形成的第1狭缝(4)，且具备沿着包围电极(51)使该包围电极(51)连续地露出的第2狭缝(8)。上部电极图案(9)被形成为覆盖感湿膜(71)的周边部的大部分。上部电极图案(9)被形成为掩埋感湿膜图案(7)的第2狭缝(8)。