公开(公告)号：CN102575999B

公开(公告)日：2013-11-06

申请号：CN201080044605.0

申请日：2010-10-01

Applicant: 北陆电气工业株式会社

Inventor： 今村徹治 ,  桑原大辅

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/12

Abstract: 本发明提供一种能够减少应力造成的感应部的变形的气体传感器元件及其制造方法。在具备具有开口部(5)的空洞部(7)的支承体(3)的表面(3A)上，设置具有内置加热器布线图案(19)并固定于支承体(3)的表面(3A)的固定部(15)以及位于开口部(5)上的非固定部(17)的基底绝缘层(9)。在基底绝缘层(9)的非固定部(17)的中央部(21)形成电极布线图案(27)和感应膜(31)。非固定部(17)构成中央部(21)以及连结中央部(21)与固定部(15)的多条连结部(23)。由基部(33)与延伸部(35)构成四条连结部(23)。连结部(23)的基部(33)构成为沿着开口部(5)的边缘部(5A)而延伸。延伸部(35)构成为从基部(33)向中央部(21)延伸并连结于中央部(21)。连结部(23)构成为基部(33)的最大宽度尺寸(W1)大于延伸部(35)的最大宽度尺寸(W2)。

公开(公告)号：CN102575999A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080044605.0

申请日：2010-10-01

Applicant: 北陆电气工业株式会社

Inventor： 今村徹治 ,  桑原大辅

IPC: G01N27/12

CPC classification number: G01N27/12

Abstract: 本发明提供一种能够减少应力造成的感应部的变形的气体传感器元件及其制造方法。在具备具有开口部(5)的空洞部(7)的支承体(3)的表面(3A)上，设置具有内置加热器布线图案(19)并固定于支承体(3)的表面(3A)的固定部(15)以及位于开口部(5)上的非固定部(17)的基底绝缘层(9)。在基底绝缘层(9)的非固定部(17)的中央部(21)形成电极布线图案(27)和感应膜(31)。非固定部(17)构成中央部(21)以及连结中央部(21)与固定部(15)的多条连结部(23)。由基部(33)与延伸部(35)构成四条连结部(23)。连结部(23)的基部(33)构成为沿着开口部(5)的边缘部(5A)而延伸。延伸部(35)构成为从基部(33)向中央部(21)延伸并连结于中央部(21)。连结部(23)构成为基部(33)的最大宽度尺寸(W1)大于延伸部(35)的最大宽度尺寸(W2)。