公开(公告)号：CN102416566A

公开(公告)日：2012-04-18

申请号：CN201010294885.2

申请日：2010-09-28

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 张从鹏 ,  罗学科 ,  谢峰

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q1/44

Abstract: 本发明涉及一种静压气浮直驱转台。所述转台包括底座、底座连接块、转轴、力矩电机转子、力矩电机定子和力矩电机安装框；转轴上固定安装有力矩电机转子，力矩电机定子和力矩电机安装框相连；转轴的上部安装有上气浮环，力矩电机安装框上方设有与上气浮环对应的第一空气轴承组件；转轴的下部安装有下气浮环，力矩电机安装框下方设有与下气浮环对应的第二空气轴承组件；底座连接块设置在第二空气轴承组件的下方，底座设置在底座连接块的下方，所述底座连接块和底座组成第三空气轴承组件。本发明具有很高的动静态性能和精度，能够同时满足先进电子制造、光学检测及制造等极限工作条件下对转台运动性能、承载能力和不污染工作环境的综合要求。

公开(公告)号：CN102416566B

公开(公告)日：2013-12-11

申请号：CN201010294885.2

申请日：2010-09-28

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 张从鹏 ,  罗学科 ,  谢峰

IPC: B23Q1/25 ,  B23Q1/44

Abstract: 本发明涉及一种静压气浮直驱转台。所述转台包括底座、底座连接块、转轴、力矩电机转子、力矩电机定子和力矩电机安装框；转轴上固定安装有力矩电机转子，力矩电机定子和力矩电机安装框相连；转轴的上部安装有上气浮环，力矩电机安装框上方设有与上气浮环对应的第一空气轴承组件；转轴的下部安装有下气浮环，力矩电机安装框下方设有与下气浮环对应的第二空气轴承组件；底座连接块设置在第二空气轴承组件的下方，底座设置在底座连接块的下方，所述底座连接块和底座组成第三空气轴承组件。本发明具有很高的动静态性能和精度，能够同时满足先进电子制造、光学检测及制造等极限工作条件下对转台运动性能、承载能力和不污染工作环境的综合要求。