公开(公告)号：CN113652644A

公开(公告)日：2021-11-16

申请号：CN202110941624.3

申请日：2021-08-17

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 欧阳佩旋 ,  张淑婷 ,  孙伟 ,  杨谨赫 ,  董志超 ,  李航 ,  吴艳

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法，所述TiAl涂层中包括α‑AlF3纳米颗粒，α‑AlF3纳米颗粒含量为TiAl涂层的5～30vol.％。所述TiAl涂层的制备方法为以TiAl合金靶材和α‑AlF3靶材为原料，在基材表面进行磁控溅射沉积制备涂层；所述磁控溅射为双靶共溅射，溅射时的基材温度为150℃，其中TiAl合金靶材采用直流溅射，功率为0.5～2kW，α‑AlF3靶材采用射频溅射，功率为0.07～0.2kW。双靶共溅射得到涂层后再将所得涂层在600～800℃的温度下热处理5～20h，得到最终的涂层。

公开(公告)号：CN113652644B

公开(公告)日：2022-04-01

申请号：CN202110941624.3

申请日：2021-08-17

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 欧阳佩旋 ,  张淑婷 ,  孙伟 ,  杨谨赫 ,  董志超 ,  李航 ,  吴艳

IPC: C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58 ,  C23C14/02

Abstract: 本发明公开了一种能够提高钛合金抗高温氧化性能的TiAl涂层及其制备方法，所述TiAl涂层中包括α‑AlF3纳米颗粒，α‑AlF3纳米颗粒含量为TiAl涂层的5～30vol.％。所述TiAl涂层的制备方法为以TiAl合金靶材和α‑AlF3靶材为原料，在基材表面进行磁控溅射沉积制备涂层；所述磁控溅射为双靶共溅射，溅射时的基材温度为150℃，其中TiAl合金靶材采用直流溅射，功率为0.5～2kW，α‑AlF3靶材采用射频溅射，功率为0.07～0.2kW。双靶共溅射得到涂层后再将所得涂层在600～800℃的温度下热处理5～20h，得到最终的涂层。

公开(公告)号：CN110656302A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201911063835.0

申请日：2019-11-04

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 欧阳佩旋 ,  张淑婷 ,  杨谨赫 ,  孙伟 ,  唐紫苑 ,  宣鹏举 ,  阎红娟 ,  李强

IPC: C23C10/48 ,  C23C10/60 ,  C23C14/30 ,  C23C14/08 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种抗扩展燃烧的长寿命钛火防护涂层及其制备方法，属于钛合金表面防护技术领域。该钛火防护涂层由卤化TiAlx合金底层和致密α-Al2O3陶瓷面层组成，其制备方法包括：卤化TiAlx合金层的制备；卤化TiAlx合金层的预氧化；致密α-Al2O3涂层的制备。本发明提供的钛火防护涂层显著改善了钛合金的抗点燃性能和抗扩展燃烧性能，提高钛合金的使用温度；且涂层与基体结合力强，涂层具有优异的抗热震性能和长服役寿命。