公开(公告)号：CN116555707A

公开(公告)日：2023-08-08

申请号：CN202310600052.1

申请日：2023-05-25

Applicant: 北方工业大学

Inventor： 阎红娟 ,  张淑婷 ,  司丽娜 ,  刘峰斌 ,  豆照良 ,  刘懿锋

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  C23C14/54 ,  C23C14/02

Abstract: 一种TiSiN/NiTiAlCrCoN抗空蚀纳米多层膜及其制备方法，属于抗空蚀薄膜技术领域。抗空蚀薄膜由过渡层、周期多层结构、工作层组成；过渡层位于基体与工作层之间，过渡层成分为TiN；周期多层结构由若干层调制周期层组成，单层调制周期层由一层模板层和一层调制层组成，模板层成分为NiTiAlCoCrN，调制层成分为TiSiN；工作层为NiTiAlCrCoN。采用溅射方法制备抗空蚀薄膜，在基体上沉积TiN层作为过渡层；然后周期性交替沉积NiTiAlCoCrN层与TiSiN层；最后沉积NiTiAlCoCrN工作层。本发明具有结合强度高、硬度高、抗空蚀性能良好等特点，可用于流体机械的叶片表面涂层。