一种宽光谱响应的透射式多碱光电阴极及其制作方法

    公开(公告)号:CN109841466B

    公开(公告)日:2021-02-09

    申请号:CN201910146146.X

    申请日:2019-02-27

    Abstract: 本发明属于光电阴极领域,涉及一种宽光谱响应的透射式多碱光电阴极及其制作方法,该透射式多碱光电阴极的制作采用传统的多碱光电阴极制作方法,在Na2KSb基底层的制作过程中,当其厚度达到S20‑B多碱光电阴极中Na2KSb基底层的所需厚度时,在多碱光电阴极的前端放置一个栅网,然后继续进行Na2KSb基底层的制作,使其厚度达到S25‑R多碱光电阴极中Na2KSb基底层的厚度;之后,移除该栅网,继续进行Cs3Sb表面层的制作。本发明方法克服现有技术存在的不足,解决现有的多碱光电阴极不同时具备短波紫外、可见光及长波近红外光谱响应的问题。

    一种光纤窗多碱阴极及其制作方法

    公开(公告)号:CN113594002B

    公开(公告)日:2023-07-21

    申请号:CN202110761625.X

    申请日:2021-07-06

    Abstract: 本发明公开了一种光纤窗多碱阴极,包括光纤窗、多碱阴极以及在光纤窗的输出面镀制的一层Al2O3或Hf2O3膜层,该多碱阴极位于该膜层上。本发明还公开了一种光纤窗多碱阴极的制作方法,步骤包括:S1对光纤窗的输出面进行清洗;S2在光纤窗的输出面上镀制膜层,具体为在光纤窗的输出面上镀制一层厚度为10nm~20nm的Al2O3或Hf2O3膜层;S3制作多碱阴极,具体为在镀制好Al2O3或Hf2O3膜层的光纤窗上制作多碱阴极。本发明的光纤面板输入窗用于超二代像增强器,在整个寿命期间,多碱光电阴极上不再出现黑斑(点),解决了这一长期存在的问题。

    一种宽光谱响应的透射式多碱光电阴极及其制作方法

    公开(公告)号:CN109841466A

    公开(公告)日:2019-06-04

    申请号:CN201910146146.X

    申请日:2019-02-27

    Abstract: 本发明属于光电阴极领域,涉及一种宽光谱响应的透射式多碱光电阴极及其制作方法,该透射式多碱光电阴极的制作采用传统的多碱光电阴极制作方法,在Na2KSb基底层的制作过程中,当其厚度达到S20-B多碱光电阴极中Na2KSb基底层的所需厚度时,在多碱光电阴极的前端放置一个栅网,然后继续进行Na2KSb基底层的制作,使其厚度达到S25-R多碱光电阴极中Na2KSb基底层的厚度;之后,移除该栅网,继续进行Cs3Sb表面层的制作。本发明方法克服现有技术存在的不足,解决现有的多碱光电阴极不同时具备短波紫外、可见光及长波近红外光谱响应的问题。

    一种大面积微纳叠层衍射光栅结构的制备方法

    公开(公告)号:CN114966926B

    公开(公告)日:2023-08-04

    申请号:CN202210539415.0

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种大面积微纳叠层衍射光栅结构的制备方法,该方法是在已有的光栅结构基础上,对光栅的栅齿进行微纳结构图形的结构以及材料进行调控,能够在更大的带宽下获更高的衍射效率,对提高光栅的光能的利用率和夜视镜成像的灵敏度以及降低光栅的制备成本具有重要意义;同时,通过光刻胶作为掩膜,在掩膜层上外延光栅层再带胶剥离避开刻蚀的光栅制备方法能够解决现有方法中衍射光栅制备难度大、产量低、无法进行大规模生产的问题。本发明通过改变所制备的衍射光栅的材料、周期,进一步提高了光栅的光能利用率,在实现大面积高效率微纳衍射光栅的同时,保证该结构可以实现高效率、宽光谱的衍射,可以应用于夜视、光通信等领域。

    一种大面积微纳叠层衍射光栅结构的制备方法

    公开(公告)号:CN114966926A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210539415.0

    申请日:2022-05-17

    Abstract: 本发明公开了一种大面积微纳叠层衍射光栅结构的制备方法,该方法是在已有的光栅结构基础上,对光栅的栅齿进行微纳结构图形的结构以及材料进行调控,能够在更大的带宽下获更高的衍射效率,对提高光栅的光能的利用率和夜视镜成像的灵敏度以及降低光栅的制备成本具有重要意义;同时,通过光刻胶作为掩膜,在掩膜层上外延光栅层再带胶剥离避开刻蚀的光栅制备方法能够解决现有方法中衍射光栅制备难度大、产量低、无法进行大规模生产的问题。本发明通过改变所制备的衍射光栅的材料、周期,进一步提高了光栅的光能利用率,在实现大面积高效率微纳衍射光栅的同时,保证该结构可以实现高效率、宽光谱的衍射,可以应用于夜视、光通信等领域。

    一种光纤窗多碱阴极及其制作方法

    公开(公告)号:CN113594002A

    公开(公告)日:2021-11-02

    申请号:CN202110761625.X

    申请日:2021-07-06

    Abstract: 本发明公开了一种光纤窗多碱阴极,包括光纤窗、多碱阴极以及在光纤窗的输出面镀制的一层Al2O3或Hf2O3膜层,该多碱阴极位于该膜层上。本发明还公开了一种光纤窗多碱阴极的制作方法,步骤包括:S1对光纤窗的输出面进行清洗;S2在光纤窗的输出面上镀制膜层,具体为在光纤窗的输出面上镀制一层厚度为10nm~20nm的Al2O3或Hf2O3膜层;S3制作多碱阴极,具体为在镀制好Al2O3或Hf2O3膜层的光纤窗上制作多碱阴极。本发明的光纤面板输入窗用于超二代像增强器,在整个寿命期间,多碱光电阴极上不再出现黑斑(点),解决了这一长期存在的问题。

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