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公开(公告)号：CN114994807A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210539417.X
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制备具有近红外增强功效的多维层叠光子晶体结构的方法，在硅衬底表面涂布光刻胶作为掩模层，光刻，并在掩膜层表面留下以一定间隔周期排列的圆柱型孔洞；在硅衬底及掩膜层上外延氧化硅薄膜，去除所述掩膜层及外延在掩膜层表面的氧化硅薄膜，在以一定间隔周期排列的圆柱型孔洞中留下圆柱型氧化硅结构；接着外延氧化铝阻挡层，再在阻挡层上外延氧化钛增透层并平坦化外延层表面，沉积氧化铪薄膜、匀胶光刻、刻蚀并退火形成圆锥型结构，至此获得圆柱型与圆锥型多层叠光子晶体结构。本发明的异型异质微纳结构的制备，形成多维层叠结构的光子晶体，通过改变所制备的光子晶体的材料、周期、占空比，提高了光子晶体在近红外的光谱响应。
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公开(公告)号：CN114994807B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN202210539417.X
申请日：2022-05-17
Applicant: 北方夜视技术股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种制备具有近红外增强功效的多维层叠光子晶体结构的方法，在硅衬底表面涂布光刻胶作为掩模层，光刻，并在掩膜层表面留下以一定间隔周期排列的圆柱型孔洞；在硅衬底及掩膜层上外延氧化硅薄膜，去除所述掩膜层及外延在掩膜层表面的氧化硅薄膜，在以一定间隔周期排列的圆柱型孔洞中留下圆柱型氧化硅结构；接着外延氧化铝阻挡层，再在阻挡层上外延氧化钛增透层并平坦化外延层表面，沉积氧化铪薄膜、匀胶光刻、刻蚀并退火形成圆锥型结构，至此获得圆柱型与圆锥型多层叠光子晶体结构。本发明的异型异质微纳结构的制备，形成多维层叠结构的光子晶体，通过改变所制备的光子晶体的材料、周期、占空比，提高了光子晶体在近红外的光谱响应。
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