公开(公告)号：CN114920469A

公开(公告)日：2022-08-19

申请号：CN202210618131.0

申请日：2022-06-01

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 王乙瑾 ,  方舟 ,  马怀超 ,  李廷涛 ,  孙正社 ,  张磊 ,  袁丽珠 ,  李思颖 ,  余文方

IPC: C03C27/06

Abstract: 本发明提供了一种硼硅玻璃的键合方法，该键合方法包括如下步骤：(1)将磨抛后表面光滑的硼硅玻璃基片分别使用纯水、乙醇清洗去除污物(2)在piranha溶液中超声清洗后再次使用纯水和乙醇清洗，并用氮气枪将其吹干(3)在键合面滴加氨水活化液，将其贴合后在湿度70％‑90％环境放置2h，之后将其分开，再次滴加氨水活化液后重新贴合待用。(4)将贴合静置后的基片放入真空烘干箱，先在100℃保温1h，然后在200℃继续保温4h。(5)随炉自然冷却到室温，键合完成。该键合方法无需在高洁净环境中进行，对设备和环境要求较低，成本低廉，方便操作。

公开(公告)号：CN114920469B

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202210618131.0

申请日：2022-06-01

Applicant: 北方夜视技术股份有限公司

Inventor： 王乙瑾 ,  方舟 ,  马怀超 ,  李廷涛 ,  孙正社 ,  张磊 ,  袁丽珠 ,  李思颖 ,  余文方

IPC: C03C27/06

Abstract: 本发明提供了一种硼硅玻璃的键合方法，该键合方法包括如下步骤：(1)将磨抛后表面光滑的硼硅玻璃基片分别使用纯水、乙醇清洗去除污物(2)在piranha溶液中超声清洗后再次使用纯水和乙醇清洗，并用氮气枪将其吹干(3)在键合面滴加氨水活化液，将其贴合后在湿度70％‑90％环境放置2h，之后将其分开，再次滴加氨水活化液后重新贴合待用。(4)将贴合静置后的基片放入真空烘干箱，先在100℃保温1h，然后在200℃继续保温4h。(5)随炉自然冷却到室温，键合完成。该键合方法无需在高洁净环境中进行，对设备和环境要求较低，成本低廉，方便操作。