公开(公告)号：CN115084291A

公开(公告)日：2022-09-20

申请号：CN202210519181.3

申请日：2022-05-12

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 段晓峰 ,  袁纬方 ,  杨晓伟 ,  李同辉 ,  黄君靖 ,  黄永清 ,  刘凯 ,  蔡世伟

IPC: H01L31/0304 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/105 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明提供一种倒置型光探测器及制备方法，包括自下而上的P型衬底层、P型接触层、掺杂吸收层、本征吸收层、过渡层、N型收集层、N型接触层，其中，所述掺杂吸收层的掺杂浓度沿着自横向中心至横向边缘的方向阶梯式降低。本发明提供的倒置型光探测器及制备方法，掺杂吸收层的掺杂浓度沿着自横向中心至横向边缘的方向阶梯式降低。该横向掺杂分布使得光探测器台面边缘的耗尽区域比光敏面中心的耗尽区域长，可以实现光生载流子的同步输运，缓解了限制高速响应的问题。

公开(公告)号：CN114036816A

公开(公告)日：2022-02-11

申请号：CN202111574701.2

申请日：2021-12-21

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 段晓峰 ,  黄君靖 ,  张恩阁 ,  袁纬方 ,  黄永清 ,  刘凯 ,  杨一粟 ,  蔡世伟

IPC: G06F30/25 ,  G06N3/12 ,  G06F111/06

Abstract: 本发明提供一种光栅设计方法、光栅及探测器集成结构，其中方法包括：获取设计参数；将所述设计参数输入至光栅设计模型，获取所述光栅设计模型输出的光栅结构，其中，所述光栅设计模型是基于台阶式粒子群算法构建的。本发明提供一种亚波长光栅，采用上述光栅设计方法得到。本发明提供一种探测器集成结构，包括探测器和光栅，所述探测器和所述光栅单片集成，所述光栅是上述光栅设计方法得到的。本发明提供的光栅设计方法基于台阶式粒子群算法，通过电场场强调节对光栅结构进行设计，实现了对具有汇聚增强功能的非周期亚波长光栅进行设计。本发明提供的亚波长光栅具有汇聚增强功能。