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发明公开
大型MEMS光交换阵列硅基片面积缩小的方案无效

公开(公告)号：CN101621720A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200910087681.9

申请日：2009-07-02

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 乔耀军 , 高燚 , 纪越峰

IPC: H04Q11/00 , H04B10/00

Abstract: 本发明设计属于光通信领域，尤其涉及全光网络的关键设备光交叉连接设备(OXC)中的光交换阵列。本MEMS(微机电系统)光交换阵列在端口数较多的情况下，采用了置入微透镜的方法，对光束重新聚焦，缩小了光束半径，从而有效地控制了反射镜大小，整体上缩小了MEMS硅基片的面积，极大地提高了大型MEMS光交换阵列的性价比。

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