基于MEMS技术的可调带通滤波器

    公开(公告)号:CN101777677A

    公开(公告)日:2010-07-14

    申请号:CN201010000943.6

    申请日:2010-01-21

    Abstract: 基于MEMS(微电子机械系统)技术制作的可调带通滤波器属于RF MEMS(射频微电子机械系统)领域。共面波导的信号线被切断可以使大部分频率段阻断,共面波导信号线和地在厚度上满足一定不同值,且在被切断信号线上方加载MEMS开关是带通滤波器可调的关键所在,a)共面波导信号线特征,若信号线没有被切断,则不能构成带通滤波器;b)共面波导信号线和地厚度特征,若信号线和地的厚度没有满足一定不同值,则中心频率的调节范围将很小;c)MEMS开关高度的连续变化使得带通滤波器连续可调。

Patent Agency Ranking