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发明公开
单行载流子光探测器审中-实审

公开(公告)号：CN114447138A

公开(公告)日：2022-05-06

申请号：CN202111539713.1

申请日：2021-12-15

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 黄永清 , 支华云 , 肖朝政 , 杜嘉薇 , 刘凯 , 段晓峰 , 蔡世伟

IPC: H01L31/105 , H01L31/0304

Abstract: 本发明提供一种单行载流子光探测器，包括衬底以及在所述衬底的顶面沿中心轴向设置的多个外延层，多个所述外延层包括吸收层，并基于对所述吸收层设置径向掺杂模式，生成目标电场。本发明提供的单行载流子光探测器，基于对吸收层设置径向掺杂模式，获得径向部分耗尽的吸收层结构，将器件内部电场改善为目标电场。能够提升载流子的运输速率，可以在不牺牲器件响应度的前提下，有效提升器件的3dB带宽，从而提高器件响应能力。

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