公开(公告)号：CN111999279A

公开(公告)日：2020-11-27

申请号：CN202010707325.9

申请日：2020-07-21

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 王琦 ,  杨洁雯 ,  刘昊 ,  袁学光 ,  臧思瑶 ,  于荣頔 ,  庞振奇 ,  刘凯 ,  黄永清 ,  任晓敏

IPC: G01N21/65 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明实施例提供一种基于小球阵列的柔性SERS基底及其制备方法，所述制备方法包括将形成在硬质基底表面的小球阵列完全埋入进柔性基底中，经软硬分离得到带有小球阵列的柔性基底，再通过去除部分所述柔性基底使得小球阵列从所述柔性基底表面暴露出来，在暴露出来的小球阵列的顶部区域沉积SERS活性层。本发明的方法制备工艺简单、快速、可控性与重复性好，无需传统光刻、电子束光刻、纳米压印等昂贵的微纳加工技术，无需对小球排布的层数进行控制，制备出的柔性SERS基底面积大(可达晶圆级)、成本低、均匀性好、抗弯折性能优，在高灵敏度柔性表面增强拉散射检测领域具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN111999279B

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202010707325.9

申请日：2020-07-21

Applicant: 北京邮电大学

Inventor： 王琦 ,  杨洁雯 ,  刘昊 ,  袁学光 ,  臧思瑶 ,  于荣頔 ,  庞振奇 ,  刘凯 ,  黄永清 ,  任晓敏

IPC: G01N21/65 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明实施例提供一种基于小球阵列的柔性SERS基底及其制备方法，所述制备方法包括将形成在硬质基底表面的小球阵列完全埋入进柔性基底中，经软硬分离得到带有小球阵列的柔性基底，再通过去除部分所述柔性基底使得小球阵列从所述柔性基底表面暴露出来，在暴露出来的小球阵列的顶部区域沉积SERS活性层。本发明的方法制备工艺简单、快速、可控性与重复性好，无需传统光刻、电子束光刻、纳米压印等昂贵的微纳加工技术，无需对小球排布的层数进行控制，制备出的柔性SERS基底面积大(可达晶圆级)、成本低、均匀性好、抗弯折性能优，在高灵敏度柔性表面增强拉散射检测领域具有重要的应用价值。