公开(公告)号：CN102495238A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201110358206.8

申请日：2011-11-11

Applicant: 北京航空航天大学

Inventor： 钱建强 ,  王曦 ,  李英姿 ,  王伟 ,  陈注里 ,  阳睿

IPC: G01Q60/34

Abstract: 本发明公开了一种基于轻敲模式原子力显微镜的六次谐波成像系统，该系统中第二函数发生器产生正弦谐波信号V1输出给锁相放大器，AFM探针激励器在正弦谐波信号V3作用下振动，激光器产生的光束聚焦到AFM探针激励器的悬臂末端，反射的激光束被光电四象限接收器接收，从而光电四象限接收器输出检测控制信号V4；锁相放大器利用6倍基频信号V1对接收到的检测控制信号V4进行解调放大处理后输出幅度信号V2。AFM控制器以信号V4为输入，输出反馈信号控制扫描器，进而得到样品表面形貌图像，同时记录信号V2形成6次谐波扫描图像。本发明解决了高次谐波信号与高次共振频率不相符造成的无法激发矩形悬臂的高次共振模态的问题。

公开(公告)号：CN102495238B

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201110358206.8

申请日：2011-11-11

Applicant: 北京航空航天大学

Inventor： 钱建强 ,  王曦 ,  李英姿 ,  王伟 ,  陈注里 ,  阳睿

IPC: G01Q60/34

Abstract: 本发明公开了一种基于轻敲模式原子力显微镜的六次谐波成像系统，该系统中第二函数发生器产生正弦谐波信号V1输出给锁相放大器，AFM探针激励器在正弦谐波信号V3作用下振动，激光器产生的光束聚焦到AFM探针激励器的悬臂末端，反射的激光束被光电四象限接收器接收，从而光电四象限接收器输出检测控制信号V4；锁相放大器利用6倍基频信号V1对接收到的检测控制信号V4进行解调放大处理后输出幅度信号V2。AFM控制器以信号V4为输入，输出反馈信号控制扫描器，进而得到样品表面形貌图像，同时记录信号V2形成6次谐波扫描图像。本发明解决了高次谐波信号与高次共振频率不相符造成的无法激发矩形悬臂的高次共振模态的问题。