一种基于超快激光的石英惯性构件高效加工方法

    公开(公告)号:CN119820154A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202411984301.2

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本发明公开一种基于超快激光的石英惯性构件高效加工方法,包括:根据石英基材厚度搭建专用的贝塞尔切割头;搭建超快激光加工平台;根据贝塞尔切割头关联调节激光器、位移台参数;规划石英构件激光扫描路径,并设置引导线;对石英基材清洗后进行加热,提高石英对激光的吸收率;石英基材定位后位移台联动激光器对其改质成型;使用HF溶液对改质后石英基材进行超声清洗使石英构件分离;使用研磨抛光机对石英构件表面进行抛光,得到高表面质量石英构件。本发明中方法可适配50μm~500μm厚度石英基材切割,对激光利用率高,能量损失小,成型效率高,裂片过程无热应力。加工成型的石英构件具有一致性好,尺寸精度高,表面质量优异等特点。

    一种高表面质量的激光去重装置及方法

    公开(公告)号:CN116833570A

    公开(公告)日:2023-10-03

    申请号:CN202310678844.0

    申请日:2023-06-08

    Abstract: 本发明公开了一种高表面质量的激光去重装置,包括:激光光源、扩束镜、反射镜、气动切换装置、光束整形模块、振镜、场镜和转子控制装置;其中,激光光源产生脉冲激光束;扩束镜改变脉冲激光束的直径并准直,将改变直径后的光束发送给反射镜;反射镜改变光束传输方向,使准直后的光束在气动切换装置的控制下垂直射入振镜或光束整形模块;气动切换装置用于去重模式和表面处理模式间的切换,控制准直后的光束的传播路线;光束整形模块将准直后的光束转化为平顶光束;振镜入射口与入射光束垂直且同轴,控制入射光束的扫描路径;场镜将振镜输出光束聚焦为特定大小光斑,将光斑发射到置于转子控制装置上的待去重元件上。

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