公开(公告)号：CN113944610A

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202110988348.6

申请日：2021-08-26

Applicant: 北京航天控制仪器研究所

Inventor： 胡建忠 ,  李亮 ,  及猛 ,  张学渊 ,  李刚 ,  刘振龙 ,  宋研 ,  李蕊 ,  吴欣

IPC: F04B37/14 ,  F04B39/06 ,  F04B39/12 ,  F04B39/14 ,  F04B41/02 ,  F04B51/00 ,  F04D19/04 ,  F04D27/00 ,  F04D29/54 ,  F04D29/58

Abstract: 本发明公开了一种高温高真空除气设备和方法，通过安装在真空密封腔内的铠装加热器，温度传感器和温控器的配合对产品进行加热和保温，实现恒温控制，提高了加热效率，保证除气效果的一致性；利用分子泵和机械泵组合工作，实现对产品的高真空除气，同时对管路进行了设计，使分子泵和机械泵进行串联或隔离，提高了除气效率、灵活性和稳定性。本发明通过对高真空密封腔体内的温度控制和高真空环境的保证，实现在恒温环境下的高真空除气，从而达到提升产品生产质量、生产效率和使用寿命的目的。