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公开(公告)号:CN112985301A
公开(公告)日:2021-06-18
申请号:CN202110214153.6
申请日:2021-02-25
Applicant: 北京空间机电研究所
IPC: G01B11/24
Abstract: 一种使用非接触式非球面轮廓仪测量离轴非球面的方法,包括如下几个步骤:1)确定待测面的理论轮廓定义;根据轮廓定义构造一组与该离轴非球面对等的三维坐标点集;2)使用步骤(1)中生成的点集,采用非线性最小二乘法拟合计算,找到一个最优化的逼近同轴非球面作为轮廓扫描仪的测量轨迹轮廓;3)将待测离轴镜放置到轮廓扫描仪的测量区域,使用校正量规将元件中心对准设备主轴;向轮廓扫描仪输入步骤2)中获取的测量轮廓以及相关测量设置,启动设备检测;当待测离轴镜面形精度优于60nm时,检测过程中通过力学仿真选择元件底面支撑方式;4)从检测设备测控软件中导出测量结果的轮廓数据,即离轴镜几何中心坐标系下,设备实测的样件轮廓点集;进行空间五维误差去除以及噪声点去除处理,最终获取高精度面形残差结果。
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公开(公告)号:CN103676710B
公开(公告)日:2016-08-17
申请号:CN201310577141.5
申请日:2013-11-18
Applicant: 北京空间机电研究所
IPC: G05B19/04
Abstract: 一种光学遥感器双路调焦控制系统及控制方法,涉及空间光学遥感器技术领域。它包括两个电机驱动单元、两个焦面位置遥测单元、焦面调焦控制单元。两个电机驱动单元共同驱动外部的焦面结构组件轴向移动;两个焦面位置遥测单元用于检测直线步进电机驱动焦面结构组件轴向移动的实际距离并发送数字信号至焦面调焦控制单元;焦面调焦控制单元分别向两个电机驱动单元发送脉冲驱动信号,判断两个电机驱动单元驱动焦面结构组件轴向移动的同步性,当比较结果为不同步时,进行修正,实现两个电机驱动单元驱动焦面结构组件在轴向同步移动。本发明调焦驱动力大、占用空间及结构重量只有传统形式的1/2,特别适合大宽幅光学遥感器的需求。
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公开(公告)号:CN119506784A
公开(公告)日:2025-02-25
申请号:CN202411610677.7
申请日:2024-11-12
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明一种薄膜均匀性修正挡板的制作方法,首先使用镀膜机在K9基片上蒸镀适量的膜料,完成后使用检测仪器检测基片的反射率,后将反射率转换为膜厚。不同位置的基片,会转换出不同的膜厚值。其次,建立空间直角坐标系,描述膜料蒸发源位置、基片位置及运动方式,修正挡板的摆放平面等数学因子。再次建立数学模型,计算出修正挡板的宽度,依据宽度完成修正挡板的制作,最终使得各个基片上的膜厚大致相同,保证了光学产品镀膜后的面形变化量满足技术要求。此方法可节省大量的人力、物力,与其他制作方法相比较,计算结果更为精确,实验次数更少,修正挡板的修正精度更高,工艺水平更为先进。
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公开(公告)号:CN115560698A
公开(公告)日:2023-01-03
申请号:CN202211120024.1
申请日:2022-09-14
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 一种基于定位标记的计算机可视化子孔径拼接方法,包括:根据平面镜口径、形状以及干涉仪检测口径划分待测子孔径的数量和位置;所有子孔径的并集完全覆盖整个平面镜镜面区域,且至少确保每个子孔径都存在重叠区域;根据划分的子孔径位置,确定出所有的子孔径的重叠区域,在重叠次数中做定位标记点;使用干涉仪对每个子孔径进行面形检测,并获取定位标记点的面形数据;利用每个子孔径上定位标记点的面形数据,对所有子孔径的面形检测结果进行定位;采用最小二乘法对子孔径面形数据进行贴合。
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公开(公告)号:CN114488371A
公开(公告)日:2022-05-13
申请号:CN202111564606.4
申请日:2021-12-20
Applicant: 北京空间机电研究所
IPC: G02B5/08
Abstract: 本发明公开了一种宽谱段低透过率、低反射率反射镜,包括反射镜基底,以及在反射镜基底上依次附着的金属主反射层,间隔层,反射率调控层和光谱平坦度调控层;其中金属主反射层为铝,银,金或铬,间隔层为Al2O3,反射率调控层为铬,光谱平坦度调控层包含交替排布的低折射率层和高折射率层,本发明为获得覆盖整个可见光区450nm‑900nm的宽光谱、低反射率和低透过率反射镜,在膜层中使用吸收系数较大的金属材料和介质材料组成的膜堆,从而实现了对反射率和透过率的控制,本发明反射镜对波长为450nm‑900nm的入射光的反射率在30%~80%之间,透过率小于0.1%。
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公开(公告)号:CN110551979A
公开(公告)日:2019-12-10
申请号:CN201910896598.X
申请日:2019-09-23
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明一种碳化硅表面改性方法,采用PVD(物理气相沉积)改性,先将基片清洗干净,检测改性前粗糙度,后放入整洁的镀膜机内,同时,在镀膜机相应位置放入膜料镍(Ni)、硅(Si);提高镀膜机真空室内的真空度,达到改性标准后,先镀制膜料镍(Ni)、在镀制膜料硅(Si),改性完成后检测粗糙度。相比较于传统PVD(物理气相沉积)改性方法,本方法可以直接降低基片表面粗糙度,省去改性后光学研抛过程,节省了光学研抛过程中耗费的人力、物力、财力,规避了相应的风险。
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公开(公告)号:CN119714190A
公开(公告)日:2025-03-28
申请号:CN202411842781.9
申请日:2024-12-13
Applicant: 北京空间机电研究所
Abstract: 本发明涉及一种高精度大量程角信号测量系统。为保证参考测量光在目标转动过程中始终共光轴传播,光学上的干涉信号不会因为转动而被破坏,设计了透镜组将入射到目标上的光斑中心均成像于探测器中心,从而抑制了目标在转动过程中导致的光斑游走。在本发明的设计下,只要目标转动角度在透镜组的视场范围内,都可获得稳定的光学干涉信号。本发明既能通过线性位移测量方法减小对相位测量噪声的敏感性,利用杠杆效应放大角度信号,又能通过差分读出消除平动的影响,且具备超越现有光路的大角度测量能力。
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