一种钎焊铝碳化硅复合材料的中温钎料及制备和钎焊方法

    公开(公告)号:CN101972901B

    公开(公告)日:2012-06-06

    申请号:CN201010526125.X

    申请日:2010-10-25

    Abstract: 本发明属于微电子封装领域,提供一种钎焊温度在450~510℃之间,用于连接SiCp/Al复合材料与可伐合金的钎料及其钎焊方法。本发明开发了一种钎焊温度在450~510℃之间的中温钎料,该中温钎料组分的质量百分含量为:Ag:30~50;Cu:5~15;Sn:35~60;Ni:0~3;用该钎料钎焊化学镀Ni后的SiCp/Al复合材料与可伐合金,钎焊后外壳气密性优于1×10-9Pa·m3/S,剪切强度高于65Mpa,满足国军标要求。特点在于将SiCp/Al复合材料在高于芯片的装片温度(430℃),而低于SiCp/Al复合材料本身熔点的温度下进行钎焊。这保证了后续的芯片装片工艺能使用Au-Si共晶法(380~430℃),进而保证封装的整体散热效果。SiCp/Al复合材料外壳主要适用于微电子封装中混合集成电路、毫米波/微米波集成电路、多芯片组件和大功率器件的封装外壳。

    一种钎焊铝碳化硅复合材料的中温钎料及制备和钎焊方法

    公开(公告)号:CN101972901A

    公开(公告)日:2011-02-16

    申请号:CN201010526125.X

    申请日:2010-10-25

    Abstract: 本发明属于微电子封装领域,提供一种钎焊温度在450~510℃之间,用于连接SiCp/Al复合材料与可伐合金的钎料及其钎焊方法。本发明开发了一种钎焊温度在450~510℃之间的中温钎料,该中温钎料组分的质量百分含量为:Ag:30~50;Cu:5~15;Sn:35~60;Ni:0~3;用该钎料钎焊化学镀Ni后的SiCp/Al复合材料与可伐合金,钎焊后外壳气密性优于1×10-9Pa·m3/S,剪切强度高于65MPa,满足国军标要求。特点在于将SiCp/Al复合材料在高于芯片的装片温度(430℃),而低于SiCp/Al复合材料本身熔点的温度下进行钎焊。这保证了后续的芯片装片工艺能使用Au-Si共晶法(380~430℃),进而保证封装的整体散热效果。SiCp/Al复合材料外壳主要适用于微电子封装中混合集成电路、毫米波/微米波集成电路、多芯片组件和大功率器件的封装外壳。

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