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公开(公告)号：CN118866656A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202410984227.8
申请日：2024-07-22
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 本发明提供了一种基于活化过硫酸盐的碳化硅化学机械抛光方法，属于抛光技术领域，包括以下步骤：（1）抛光前混合抛光液母液与过硫酸盐，得到碳化硅化学机械抛光液；所述抛光液母液包括磨粒、表面活性剂、Fenton试剂和去离子水；（2）在UV光照下，使用抛光液和抛光垫，对碳化硅衬底进行抛光处理。通过本发明的方法可以在碳化硅化学机械抛光中达到较高的材料去除率和较低的表面粗糙度，有效提升磨抛效率，且易漂洗残留少。本发明是基于过渡金属离子活化过硫酸盐产生强氧化性硫酸根自由基的类Fenton反应，结合UV光催化协同活化过硫酸盐产生自由基，高效软化碳化硅表层，提升表层材料的去除率，提高表面平坦化效率。
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公开(公告)号：CN113308308B
公开(公告)日：2022-05-17
申请号：CN202110498371.7
申请日：2021-05-08
Applicant: 北京科技大学 , 北京市通州区潞河中学
Abstract: 一种金属加工用微乳型除油清洗剂及其制备方法，属于工业清洗技术领域。本发明按质量百分比包含以下组成：轻质白油21％～25％，复配表面活性剂30％～34％，助表面活性剂17％～20％，螯合剂0.46％～0.60％，及余量去离子水。本发明产品有良好的防锈性，成分无磷，对于代替溶剂型传统清洗剂，清洗具有复杂结构的精密零件有重要的应用价值。本发明产品呈琥珀色透明液态，粒径细小，制备流程简单，热力学稳定易于储存，与水、油互溶，净洗力强，可清洗水溶性污垢与油溶性污垢，易漂洗残留少。轻质白油作为本发明的油相，显著提高了微乳型除油清洗剂对金属表面的铺展能力，使清洗剂可以铺展到精密零件的细小沟槽和孔洞内，有效发挥清洗作用。
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公开(公告)号：CN113308308A
公开(公告)日：2021-08-27
申请号：CN202110498371.7
申请日：2021-05-08
Applicant: 北京科技大学
Abstract: 一种金属加工用微乳型除油清洗剂及其制备方法，属于工业清洗技术领域。本发明按质量百分比包含以下组成：轻质白油21％～25％，复配表面活性剂30％～34％，助表面活性剂17％～20％，螯合剂0.46％～0.60％，及余量去离子水。本发明产品有良好的防锈性，成分无磷，对于代替溶剂型传统清洗剂，清洗具有复杂结构的精密零件有重要的应用价值。本发明产品呈琥珀色透明液态，粒径细小，制备流程简单，热力学稳定易于储存，与水、油互溶，净洗力强，可清洗水溶性污垢与油溶性污垢，易漂洗残留少。轻质白油作为本发明的油相，显著提高了微乳型除油清洗剂对金属表面的铺展能力，使清洗剂可以铺展到精密零件的细小沟槽和孔洞内，有效发挥清洗作用。
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