公开(公告)号：CN119927791A

公开(公告)日：2025-05-06

申请号：CN202510436842.X

申请日：2025-04-09

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 谢贵久 ,  宋振 ,  王津 ,  马健 ,  侯润杰

IPC: B24B37/10 ,  B24B37/04 ,  B24B57/02 ,  B24B37/30

Abstract: 本申请公开了一种晶圆衬底化学机械研磨加工装置及加工方法，所述加工装置包括晶圆工作台和对应设置在所述晶圆工作台上方的研磨工作台，待加工衬底放置在所述晶圆工作台上，所述研磨工作台上还布置有研磨盘；其中，所述晶圆工作台上设置有多个气流控制孔和卡盘销；所述气流控制孔间隔设置在所述晶圆工作台上，所述待加工衬底通过气流控制孔和卡盘销固定在晶圆工作台上。本发明的加工装置，搭建了一个可以兼容各种尺寸、形貌的新型衬底加工装备架构，从而提高了装备的加工效率。

公开(公告)号：CN119820477A

公开(公告)日：2025-04-15

申请号：CN202510331254.X

申请日：2025-03-20

Applicant: 北京科技大学

Inventor： 谢贵久 ,  王津 ,  宋振 ,  侯润杰 ,  马健

IPC: B24B41/04 ,  B24B55/02 ,  B24B55/00 ,  B24B7/22

Abstract: 本发明公开了一种复合材料巨量微孔型磨抛气浮主轴，包括水冷电机、气浮轴承、水气开关，其在进水管内流入液体时，允许触动第一微动开关，第一微动开关控制进气管的气动隔膜阀的打开。本发明通过上述水气开关可调节进水管和进气管的工作顺序，从而避免在进水管并未进水的时候，水冷电机的电机转子进行旋转，从而保证石墨烯青铜复合巨量微孔材料制成的止推轴承垫在工作时必然形成气膜，进而保证其工作寿命和晶圆减薄的工艺质量。