公开(公告)号：CN119730417A

公开(公告)日：2025-03-28

申请号：CN202411793487.3

申请日：2024-12-06

Applicant: 北京石墨烯研究院 ,  北京大学

Inventor： 庞亚会 ,  刘忠范 ,  胡清梅 ,  杨嘉炜 ,  尹建波

IPC: H10F30/28 ,  H10F77/42 ,  H10F71/00 ,  G01J1/42 ,  G01J1/44 ,  G01J1/00 ,  G01J5/12 ,  G01J5/20 ,  G01J5/00

Abstract: 本发明公开了基于垂直蝶形耦合天线的双层石墨烯太赫兹探测器及其制备方法。本发明太赫兹探测器包括硅衬底；贴合在硅衬底上表面的二氧化硅支撑层；嵌入二氧化硅支撑层上表层内或贴合在上表面的底栅，包括翅状天线部分和矩形天线部分；平行设置于二氧化硅支撑层上方的顶栅，包括翅状天线部分和矩形天线部分；底栅和顶栅共同形成蝴蝶结结构，底栅和顶栅的矩形天线部分沿宽度方向半错位半重合；石墨烯部件，上下连接底栅和顶栅的矩形天线部分，包括由下至上的包裹层、双层石墨烯层和包裹层；分别连接在石墨烯部件左右两端的源电极和漏电极。本发明太赫兹探测器可在室温下实现太赫兹的探测，有效减小探测器件尺寸。