-
公开(公告)号：CN103363901B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201310295766.2
申请日：2013-07-15
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/00
Abstract: 本发明涉及一种面向同轴对位微装配系统的标定方法，属于微检测与微装配技术领域。本发明方法利用自准直仪，标定棱镜面与自准直仪成像面的平行度、标定基体载物台反射光路和自准直仪成像面的垂直度、标定目标载物台反射光线和自准直仪成像面的垂直度，以及在卸下自准直仪后装上CCD和显微镜头，微调去除安装偏差，实现CCD相机和棱镜的光轴与棱镜面垂直，完成了包括棱镜，目标载物台，基体载物台，显微镜头在内的同轴对位微装配系统各个组成部分相对位姿的标定工作，大大提高系统的装配精度，方法简单易行。
Search Results
1
records
(took 0.014 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
