一种双路正交移相解调滤波的MEMS陀螺干扰抑制方法

    公开(公告)号:CN112629517A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011470375.6

    申请日:2020-12-14

    Abstract: 本发明涉及一种双路正交移相解调滤波的MEMS陀螺干扰抑制方法,属于MEMS陀螺仪及抗干扰技术领域。所述方法,包括:位移传感信号通过放大器放大,分别乘以I路和Q路解调信号再进行低通滤波;判断Q路低通滤波后的信号中是否含有交流分量,若不包含则输出I路低通滤波后的信号为角速度信号,否则报警提示并对Q路低通滤波后的信号进行希尔伯特变换;将I路低通滤波后信号和Q路希尔伯特变换后信号分别相加和相减,截取相加和相减后信号中时间轴相同的一段信号,计算这两段信号的能量大小,选择能量较小的那一段信号为角速度信号。所述方法能滤除作用在传感方向上频率不等于驱动频率的位移干扰信号,简化了陀螺仪的结构和体积,也降低了制造成本。

    一种基于拓扑光子高Q腔的MEMS压力传感器

    公开(公告)号:CN113639921A

    公开(公告)日:2021-11-12

    申请号:CN202110971644.5

    申请日:2021-08-24

    Abstract: 本发明涉及一种基于拓扑光子高Q腔的MEMS压力传感器,属于MEMS压力传感器技术领域。所述压力传感器为敏感元件,包含1个有序列光子晶体板的Si片梁;所述光子晶体板为正多边体且厚度范围为0.5um~0.6um,边长范围为20um~250um;所述光子晶体板上设有周期为519.25nm的圆孔阵列,圆孔半径为175nm;所述Si片梁工作时:激光器发出的光通过光环形器耦合到Si片梁上,环境压力的变化使Si片梁发生形变,从而影响信号光返回值,使光谱仪上光的波长值发生变化。所述传感器有效减少了平面外散射的影响,从而Q值很高,高达1×106,探测灵敏度也高达2.17×106pm/kPa;具有结构简单、体积小、成本低及利于量产的优势。

    一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计及其抑制方法

    公开(公告)号:CN113030514A

    公开(公告)日:2021-06-25

    申请号:CN202110116751.X

    申请日:2021-01-28

    Abstract: 本发明涉及一种可抑制声波干扰的MEMS加速度计及其抑制方法,属于MEMS传感器防护技术领域。所述可抑制声波干扰的MEMS加速度计,包括传感器、交流放大器、解调器、1号低通滤波器、输出放大器及2号低通滤波器。所述抑制方法,包括:传感器输出的电压信号通过一个交流放大器放大,得到交流放大后的信号;交流放大号的信号再通过解调器进行解调,得到解调后的信号;解调后的信号通过一个低通滤波器滤波,滤除信号中的高频声波干扰信号,得到第一次低通滤波后的信号;第一次低通滤波后的信号再通过一个输出放大器放大,得到输出放大后的信号;输出放大后的信号再通过一个低通滤波器滤波,就能得到不含声波干扰信号的正确加速度信号。

    一种基于拓扑光子高Q腔的MEMS压力传感器

    公开(公告)号:CN113639921B

    公开(公告)日:2023-05-12

    申请号:CN202110971644.5

    申请日:2021-08-24

    Abstract: 本发明涉及一种基于拓扑光子高Q腔的MEMS压力传感器,属于MEMS压力传感器技术领域。所述压力传感器为敏感元件,包含1个有序列光子晶体板的Si片梁;所述光子晶体板为正多边体且厚度范围为0.5um~0.6um,边长范围为20um~250um;所述光子晶体板上设有周期为519.25nm的圆孔阵列,圆孔半径为175nm;所述Si片梁工作时:激光器发出的光通过光环形器耦合到Si片梁上,环境压力的变化使Si片梁发生形变,从而影响信号光返回值,使光谱仪上光的波长值发生变化。所述传感器有效减少了平面外散射的影响,从而Q值很高,高达1×106,探测灵敏度也高达2.17×106pm/kPa;具有结构简单、体积小、成本低及利于量产的优势。

    一种双路正交移相解调滤波的MEMS陀螺干扰抑制方法

    公开(公告)号:CN112629517B

    公开(公告)日:2022-04-15

    申请号:CN202011470375.6

    申请日:2020-12-14

    Abstract: 本发明涉及一种双路正交移相解调滤波的MEMS陀螺干扰抑制方法,属于MEMS陀螺仪及抗干扰技术领域。所述方法,包括:位移传感信号通过放大器放大,分别乘以I路和Q路解调信号再进行低通滤波;判断Q路低通滤波后的信号中是否含有交流分量,若不包含则输出I路低通滤波后的信号为角速度信号,否则报警提示并对Q路低通滤波后的信号进行希尔伯特变换;将I路低通滤波后信号和Q路希尔伯特变换后信号分别相加和相减,截取相加和相减后信号中时间轴相同的一段信号,计算这两段信号的能量大小,选择能量较小的那一段信号为角速度信号。所述方法能滤除作用在传感方向上频率不等于驱动频率的位移干扰信号,简化了陀螺仪的结构和体积,也降低了制造成本。

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