公开(公告)号：CN220520598U

公开(公告)日：2024-02-23

申请号：CN202321963209.9

申请日：2023-07-25

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 王珊珊 ,  安桥石 ,  杜建新 ,  张学强 ,  蒋梦云 ,  毛鹏 ,  贾子琰 ,  肖冰馨

IPC: C23C14/04 ,  H10K71/60 ,  H10K30/10

Abstract: 本实用新型涉及一种镀膜用的掩膜板，具体涉及一种用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板。本实用新型公开的用于薄膜太阳能电池镀膜的掩膜板包括方形基板和位于方形基板中的若干相同的、离散式均匀分布的方形凹槽以及基板外侧的手柄。方形凹槽用于放置玻璃基片进行镀膜。每个方形凹槽中有若干条结构大小相同的L形格子与数量相同的长方形格子，为镀膜区域，其他区域为掩膜区域。每个L形格子和每个长方形格子组成一个镀膜单元，分别对应一个电极且极性相反，L形格子对应阴极，长方形格子对应阳极。方形凹槽的四周顶角处设计有圆形凹槽，以及一边有半圆型的凹槽用于方便夹取玻璃基片。方形基板外侧的手柄用于取放膜板。