一种基于飞秒激光诱导石墨烯的双面传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN119328292A

    公开(公告)日:2025-01-21

    申请号:CN202411510790.8

    申请日:2024-10-28

    Abstract: 本发明涉及一种基于飞秒激光诱导石墨烯的双面传感器的制备方法,属于激光应用技术领域。该方法在制备过程中,先利用离焦状态对聚醚醚酮薄膜下表面进行激光加工以制备LIG传感器。离焦距离要大于材料厚度,以此确保下表面加工时上表面不会生成LIG。之后,处于聚焦上表面状态对聚醚醚酮薄膜上表面进行激光加工来制备LIG传感器。上下表面的LIG加工图案在位置和形状上具有灵活性。若上下表面加工图案位置相同,能保证上下表面LIG在相应位置有高度一致性。当上下表面LIG加工图案形状不同时,可为传感器赋予多功能特性,满足不同检测需求和应用场景,比如一面可用于应变检测,另一面可用于湿度检测等。

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