公开(公告)号：CN101619964A

公开(公告)日：2010-01-06

申请号：CN200910085601.6

申请日：2009-05-26

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 张之敬 ,  叶鑫 ,  金鑫 ,  张林 ,  杜芳 ,  程朋乐

IPC: G01B11/24 ,  G01B11/08 ,  G01B11/12 ,  G01B11/00 ,  G06T7/00

Abstract: 本发明为一种基于工艺匹配的微小型结构件边缘快速显微检测方法及装置，检测装置如图1所示。该方法在传统边缘识别的基础上加入了加工工艺信息和边缘统计特性。以显微光学检测技术为基础，针对不同加工工艺微小型零件边缘特性，利用数理统计的方法分别对其边缘过渡区域进行拟合，建立不同工艺微小型零件的边缘过渡区域数学模型，通过对数学模型的分析，精确识别和定位出边缘点的位置。该方法考虑了微小型零件的实际加工情况，加入统计学思想，考虑了边缘相邻小区域的相关性，有效去除边缘附近的随机噪声，精度达到亚像素级，使显微图像边缘检测结果更精确。随着高技术产品向微型化发展的趋势日益加快，且各种微加工技术的出现，微小型结构件的需求日益增多，且形状越来越复杂，本发明的应用前景和社会经济效益是可观的。