公开(公告)号：CN115248444A

公开(公告)日：2022-10-28

申请号：CN202210839599.2

申请日：2022-07-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 朱凯强 ,  孙厚军 ,  秦华 ,  肖钰 ,  丁青峰 ,  赵国强 ,  王翊坤

IPC: G01S17/89 ,  G01S7/481

Abstract: 本发明公开了一种太赫兹多模阵列探测器接收系统，系统包括太赫兹探测器阵列、太赫兹透镜阵列、太赫兹MEMS功分器、太赫兹本振源和多通道直流偏置电源。所述太赫兹本振源与所述太赫兹MEMS功分器连接；所述太赫兹透镜阵列与太赫兹探测器阵列连接，所述太赫兹探测器中设置有若干个探测器像元，所述多通道直流偏置电源与所述与太赫兹探测器阵列连接。一方面通过在太赫兹探测器阵列的上方加载太赫兹透镜阵列可以提高太赫兹探测器阵列的灵敏度；另一方面，本发明采用了MEMS工艺实现的功分器，以及阵列化的探测器芯片，降低了阵列的间距以及装配难度，并且可以显著提高成像速度。可广泛应用于太赫兹成像技术领域。

公开(公告)号：CN115332387A

公开(公告)日：2022-11-11

申请号：CN202210830079.5

申请日：2022-07-15

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 朱凯强 ,  孙厚军 ,  肖钰 ,  秦华 ,  赵国强 ,  王翊坤

IPC: H01L31/112 ,  H01L31/02 ,  G01J1/42

Abstract: 本发明申请公开了一种太赫兹多模场效应管探测器，太赫兹多模场效应管探测器包括芯片，通过设置从下到上依次为衬底、隔离层、沟道层、势垒层和电极层的芯片，在芯片两侧设置天线探针，并通过电源引线将栅极与栅极电压输入连接、将源极接地，通过中频引线将漏极的中频信号输出，结合平面传输线克服了传统的太赫兹探测器结构尺度小、制备难度大的问题；通过设置平面传输线，增强了探测器对二维电子气的调控能力；通过设置天线探针，增强了探测器对太赫兹信号的耦合接收能力，提高了探测器的性能。本发明可广泛应用于探测器技术领域。