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公开(公告)号：CN115420214A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211004391.5
申请日：2022-08-22
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开的法向跟踪后置分光瞳差动共焦自由曲面测量方法与装置，属于光学精密检测领域。本发明包括传感器测头、三维运动控制系统、计算机软件处理模块，采用纳米级驱动实现载物台和传感器测头的定位。传感器测头为后置分光瞳差动共焦传感器测头。本发明在优化激光差动共焦测量系统结构的前提下，将基于位置敏感探测器PSD反馈的法向跟踪技术与后置分光瞳差动共焦技术相结合，利用基于位置敏感探测器PSD反馈的法向跟踪系统对被测自由曲面样品进行大角度范围内法向跟踪，利用后置分光瞳差动共焦传感器对被测自由曲面样品进行高精度、高稳定性轴向定焦，实现大倾角高精度自由曲面测量。本发明能够降低光路装调难度和成本，且具有抗倾角、高精度、高稳定性的优点。
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