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公开(公告)号：CN118123231A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202410425269.8
申请日：2024-04-10
Applicant: 北京理工大学
IPC: B23K26/064 , B23K26/046 , B23K26/70
Abstract: 本发明公开的分光瞳差动共焦监测的大视场激光微纳加工方法与装置，属于激光精密加工与监测领域。本发明使用一对离轴抛物面作为X和Y方向振镜之间的光路中继，将飞秒激光扫描加工光路与分光瞳差动共焦测量光路有机融合，利用分光瞳差动共焦模块寻找激光加工焦点位置，实现样品加工过程轴向位置的相对锁定；利用X和Y振镜的抛物面反射镜中继光路，消除激光能量分布不均匀引起的离轴加工能量不足问题，所述激光能量分布不均匀是由X、Y振镜之间无中继导致的会聚物镜后瞳孔面共轭损失引起的；利用高精度二维位移台切换样品加工区域，实现微纳结构的大面积、高效率拼接加工。本发明具有加工‑监测一体、加工‑测量范围大、大面积加工效率高的优点。
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