公开(公告)号：CN119986491A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510177491.5

申请日：2025-02-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 鲍秀娥 ,  黄宇莹 ,  王存 ,  袁昊云

IPC: G01R33/12 ,  G01R27/26 ,  G01R27/28 ,  G01R1/04

Abstract: 本发明涉及电磁表征技术领域，具体涉及一种基于传输反射法的稳定非迭代电磁参数表征方法及夹具，方法包括：S1、将待测介质加载至测量夹具中，将测量夹具分为待测介质区域和空气区域，两个区域等效为一个二端口网络；S2、测量二端口网络中两个端口的散射参数S，将散射参数S转化成ABCD矩阵形式；S3、根据测量夹具总的ABCD矩阵和空气段的ABCD矩阵计算待测介质的初始ABCD矩阵；S4、对待测介质的初始ABCD矩阵进行校准，消除空气段的影响，得到待测介质的最终ABCD矩阵；S5、将待测介质的最终ABCD矩阵转化回散射参数S。本发明适用于各类磁性和非磁性材料，并且对于复介电常数和磁导率对频率依赖的材料依旧有效。

公开(公告)号：CN119986321A

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN202510165186.4

申请日：2025-02-14

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 鲍秀娥 ,  刘书超 ,  王存 ,  王泽宇

IPC: G01R31/28

Abstract: 本发明提供了一种基于散射参数变化的射频探针全自动调控方法及系统，包括：在探针相对晶圆电极触板移动对准的过程中，实时获取GSG三个触点相对三个接触垫片的散射参数；根据散射参数的极坐标图位置执行探针的调平操作，包括：根据散射参数的极坐标图位置调控GSG三个触点连线与电极触板所在平面的夹角θ，使GSG三个触点连线与电极触板所在平面平行；根据散射参数的实部值变化执行探针的三维位置的对准操作，包括：根据散射参数的实部值变化调控GSG三个触点相对三个接触垫片的XYZ轴的位置，使GSG三个触点分别与三个接触垫片接触。本发明实现了探针在X、Y、Z和θ四个方向上的自动精细调控，以提高对准精度、可重复性和测量准确性。