公开(公告)号：CN116124286A

公开(公告)日：2023-05-16

申请号：CN202211621634.X

申请日：2022-12-16

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 丁心宇 ,  谢会开 ,  陈超 ,  曹英超 ,  潘腾 ,  杨恒张

IPC: G01J3/02 ,  B81B3/00 ,  G01J3/28

Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS可动微平台的光谱检测装置及其加工方法，属于光谱分析技术领域。本发明包括超表面、MEMS可动微平台、光阑、单点探测器和信号处理系统。超表面、MEMS可动微平台、光阑、单点探测器均位于入射光光轴上。超表面用于对入射光进行分光并汇聚，超表面由特征尺寸小于光谱仪工作波段的微结构构成。超表面所在平面与入射光光轴方向垂直。所述超表面用于对入射光进行聚焦，并根据波长不同，在光轴方向上不同位置产生相应焦点。本发明采用超表面作为色散元件，显著压缩色散元器件的体积；通过将超表面集成于MEMS可动微平台上，配合单点探测器即能够实现光谱信息的动态检测，无需昂贵的阵列探测器，显著降低光谱检测装置成本。

公开(公告)号：CN115486800A

公开(公告)日：2022-12-20

申请号：CN202210915262.5

申请日：2022-08-01

Applicant: 北京理工大学 ,  佛山光微科技有限公司

Inventor： 赵晖 ,  谢会开 ,  潘腾

IPC: A61B1/227 ,  A61B5/00 ,  A61B8/12

Abstract: 本发明公开的一种基于MEMS的双模态耳科检测仪，属于医学成像领域。本发明包括OCT成像模块、超声成像模块、控制器、成像探头。将MEMS微镜、环形MEMS超声换能器等器件内置集成在检测仪成像探头端，通过MEMS微镜和超声换能器的通孔设置，充分利用MEMS微镜的小尺寸和大扫描角度，环形MEMS超声换能器小型化等特点，使得微镜实现前视扫描，提供更大OCT成像视场的同时保持较小的探头直径，达到OCT前视扫描成像与超声成像的双模态同时成像的效果。本发明还公开一种基于MEMS的大视场双模态耳科检测仪，成像探头端通过紧凑的光电和结构共轴设计，在保持较小尺寸的同时能够实现更大的OCT扫描成像范围。