一种激光共焦Raman-LIBS-质谱联用显微成像方法与装置

    公开(公告)号:CN109254071A

    公开(公告)日:2019-01-22

    申请号:CN201811343645.X

    申请日:2018-11-13

    CPC classification number: G01N27/64 G01N21/01 G01N21/65 G01N21/71 G01N21/718

    Abstract: 本发明涉及一种激光共焦Raman-LIBS-质谱联用显微成像方法与装置,属于共焦显微成像、光谱成像及质谱成像测量技术领域。本发明将后置分光瞳激光共焦显微成像技术与光谱、质谱探测技术结合,利用经超分辨技术处理的后置分光瞳共焦显微镜的微小聚焦光斑对样品进行高空间分辨形态成像,利用光谱探测系统对聚焦光斑激发光谱(拉曼光谱、诱导击穿光谱)进行微区光谱探测,利用质谱仪对样品微区带电分子、原子等进行质谱探测,利用激光多谱探测的优势互补和结构融合实现样品微区完整组分信息与形态参数的高空间分辨和高灵敏成像与探测。本发明可为生物医学、材料科学等领域物质组分及形态成像探测提供一条全新的有效技术途径。

    激光差动相关共焦拉曼光谱测试方法及装置

    公开(公告)号:CN113866152A

    公开(公告)日:2021-12-31

    申请号:CN202111132973.7

    申请日:2021-09-27

    Abstract: 本发明公开的激光差动相关共焦拉曼光谱测试方法及装置,属于显微光谱成像技术领域。本发明利用反射光构建差动共焦显微成像系统,实现样品焦点的高精度追踪和几何形貌的高空间分辨探测;利用拉曼散射光构建共焦拉曼光谱成像系统,测量过程中通过移动拉曼针孔,获取拉曼收集透镜焦点前后等量离焦位置处的两个拉曼光谱信号,并对两个拉曼信号进行相关积处理得到被测位置的相关拉曼光谱信息,压缩共焦拉曼系统点扩散函数,实现高空间分辨拉曼光谱成像;结合上述两点进而实现具有高空间分辨的“图谱合一”成像。本发明具有实时焦点高精度追踪、高空间分辨以及高信噪比等优点,可广泛应用于生物医学、物理化学、材料科学等领域中。

    后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置

    公开(公告)号:CN109520973A

    公开(公告)日:2019-03-26

    申请号:CN201811344018.8

    申请日:2018-11-13

    Abstract: 本发明涉及后置分光瞳激光差动共焦显微检测方法及装置,属于表面微细结构测量技术领域,该方法采用后置分光瞳共焦显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量,入射光束透过测量物镜会聚到被测样品表面,载有被测样品表面几何形貌信息的反射光经过测量物镜收集进入后置分光瞳激光差动共焦探测系统,经过第一会聚透镜和收集光瞳后,会聚于探测面上,在探测焦面上离轴设置两个区域,测得这两个区域的响应并得出探测器响应特性方程,依据曲线在线性区间内的强度大小,或强度为零的位置,重构出被测样品的表面形貌。该方法结构简单,可有效兼顾系统的空间分辨能力与量程范围,实现物体表面形貌和三维微细结构等的光学高分辨绝对测量。

    激光差动相关共焦拉曼光谱测试方法及装置

    公开(公告)号:CN113866152B

    公开(公告)日:2023-11-10

    申请号:CN202111132973.7

    申请日:2021-09-27

    Abstract: 本发明公开的激光差动相关共焦拉曼光谱测试方法及装置,属于显微光谱成像技术领域。本发明利用反射光构建差动共焦显微成像系统,实现样品焦点的高精度追踪和几何形貌的高空间分辨探测;利用拉曼散射光构建共焦拉曼光谱成像系统,测量过程中通过移动拉曼针孔,获取拉曼收集透镜焦点前后等量离焦位置处的两个拉曼光谱信号,并对两个拉曼信号进行相关积处理得到被测位置的相关拉曼光谱信息,压缩共焦拉曼系统点扩散函数,实现高空间分辨拉曼光谱成像;结合上述两点进而实现具有高空间分辨的“图谱合一”成像。本发明具有实时焦点高精度追踪、高空间分辨以及高信噪比等优点,可广泛应用于生物医学、物理化学、材料科学等领域中。

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