动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置

    公开(公告)号:CN118518651A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202410547427.7

    申请日:2024-05-06

    Abstract: 本发明公开的动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测方法及装置,属于显微光谱成像领域。本发明利用共焦探测系统光强和轴向离焦距离一一对应的特性,结合频闪原理对离面运动状态的被测样品进行相位锁定的离焦位置检测,使用轴向驱动系统调节焦点位置,完成对振动器件的焦点跟踪,结合共焦拉曼光谱探测系统收集相位锁定状态下的拉曼光谱信息,实现动态焦点跟踪的激光共焦拉曼光谱探测;焦点跟踪的同时记录轴向位移即样品振动位移,结合相位焦点跟踪的拉曼光谱信息,实现高空间分辨“振动波形‑拉曼光谱”融合图的绘制。本发明解决使用拉曼光谱测试离面振动样品时的焦点偏移问题的同时能够获取相位振动位移信息,具有高灵敏度、高空间分辨、易集成且结构简单等优点。

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