公开(公告)号：CN119681471A

公开(公告)日：2025-03-25

申请号：CN202411930981.X

申请日：2024-12-26

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 李晓炜 ,  朱玮瑜 ,  姜澜 ,  王安东 ,  齐小林 ,  闫逸豪 ,  张正伟

IPC: B23K26/50 ,  B23K26/064 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/082

Abstract: 一种基于双光束激光焦点干涉精细改质晶体内部的方法，属于激光精密加工领域。本发明实现方法为：利用激光整形器件调整双光束发散角实现焦点A与焦点B的重叠。双焦点重叠并发生干涉，焦点重叠区域会发生能量强弱交替变化的干涉现象；在干涉作用下，激光会将大部分能量集中到干涉增强处，其能量峰值可超过材料内部的改质阈值进而发生改质；双焦点重叠区域尺寸相对于常规单焦点区域实现压缩，而干涉发生改质只占重叠区域的一部分，改质区域尺寸会进一步压缩。相比于常规单焦点改质区域，利用本发明方法改质的纵向尺寸至少能够压缩50％，使得所加工的晶体内部微纳结构精度更高。根据晶体材料的特性选择激光参数，按预设轨迹移动扫描，改质点形成改质线，进而能够在晶体内部实现复杂微纳结构的高精度加工。