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公开(公告)号：CN110954019B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201911187558.4
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于基准平面比较测量的大倾角自由曲面测量方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明利用高精度水平平面平晶作为X‑Y面的参考基准，去除两导轨高度方向上的直线度误差，同时，利用平面平晶监测X、Y导轨的横向微位移，去除两导轨横向的直线度误差。将监测基准平面的传感器和测量自由曲面高度信息的传感器同轴安装，减少导轨及桁架倾斜带来的阿贝误差；通过参考基准面补偿X向和Y向气浮导轨的直线度误差，实现自由曲面高精度测量的降维误差分离。纳米精度自由曲面传感器，利用气浮转轴题高测试范围，结合余气回收式气浮导轨的宏‑微跨尺度纳米精度无扰驱动与定位方法，为自由曲面检测提供高精度的三维直线定位与扫描测量手段。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110057337A
公开(公告)日：2019-07-26
申请号：CN201910268999.0
申请日：2019-04-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的基于基准平面比较测量的自由曲面测量方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明使用高精度平面平晶作为X-Y面的参考基准平面，利用同轴安装的高精度高度测量传感器和自由曲面测量传感器分别检测高精度平面平晶和被测自由曲面表面高度信息，利用高精度高度测量传感器获取的高精度平面平晶表面高度信息监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨的直线度误差，对自由曲面表面形貌进行降维误差分离，实现自由曲面形貌的纳米精度检测。本发明能够实现自由曲面检测提供高精度的三维直线定位与扫描测量，能够抑制X、Y向导轨运动直线度误差对自由曲面测量的影响，减小Z轴阿贝误差对测量的影响，实现自由曲面大范围、纳米精度测量。
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公开(公告)号：CN110954020A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911187595.5
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于液体基准平面比较测量的自由曲面检测方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明利用纳米精度高度测量传感器获取的液面基准表面高度信息来监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨在高度方向的直线度误差。将两个平面精度达到二十分之一波长的平面平晶，分别与X向气浮导轨和Y向气浮导轨平行放置；利用两个纳米精度高度测量传感器，分别获取其与两个平面平晶之间的距离，用于监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨的横向直线度误差。利用高平面度的液体基准平面作为基准，对自由曲面表面形貌进行降维误差分离，最终实现自由曲面形貌的纳米精度检测。本发明大幅提高了自由曲面测量的范围和精度。
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公开(公告)号：CN110954020B
公开(公告)日：2021-03-19
申请号：CN201911187595.5
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于液体基准平面比较测量的自由曲面检测方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明利用纳米精度高度测量传感器获取的液面基准表面高度信息来监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨在高度方向的直线度误差。将两个平面精度达到二十分之一波长的平面平晶，分别与X向气浮导轨和Y向气浮导轨平行放置；利用两个纳米精度高度测量传感器，分别获取其与两个平面平晶之间的距离，用于监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨的横向直线度误差。利用高平面度的液体基准平面作为基准，对自由曲面表面形貌进行降维误差分离，最终实现自由曲面形貌的纳米精度检测。本发明大幅提高了自由曲面测量的范围和精度。
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公开(公告)号：CN110057337B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201910268999.0
申请日：2019-04-04
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开的基于基准平面比较测量的自由曲面测量方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明使用高精度平面平晶作为X‑Y面的参考基准平面，利用同轴安装的高精度高度测量传感器和自由曲面测量传感器分别检测高精度平面平晶和被测自由曲面表面高度信息，利用高精度高度测量传感器获取的高精度平面平晶表面高度信息监测和补偿X向气浮导轨和Y向气浮导轨的直线度误差，对自由曲面表面形貌进行降维误差分离，实现自由曲面形貌的纳米精度检测。本发明能够实现自由曲面检测提供高精度的三维直线定位与扫描测量，能够抑制X、Y向导轨运动直线度误差对自由曲面测量的影响，减小Z轴阿贝误差对测量的影响，实现自由曲面大范围、纳米精度测量。
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公开(公告)号：CN110954019A
公开(公告)日：2020-04-03
申请号：CN201911187558.4
申请日：2019-11-28
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明公开了一种基于基准平面比较测量的大倾角自由曲面测量方法及装置，属于光学精密检测技术领域。本发明利用高精度水平平面平晶作为X-Y面的参考基准，去除两导轨高度方向上的直线度误差，同时，利用平面平晶监测X、Y导轨的横向微位移，去除两导轨横向的直线度误差。将监测基准平面的传感器和测量自由曲面高度信息的传感器同轴安装，减少导轨及桁架倾斜带来的阿贝误差；通过参考基准面补偿X向和Y向气浮导轨的直线度误差，实现自由曲面高精度测量的降维误差分离。纳米精度自由曲面传感器，利用气浮转轴题高测试范围，结合余气回收式气浮导轨的宏-微跨尺度纳米精度无扰驱动与定位方法，为自由曲面检测提供高精度的三维直线定位与扫描测量手段。
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