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发明公开
一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置审中-实审

公开(公告)号：CN118387617A

公开(公告)日：2024-07-26

申请号：CN202410522084.9

申请日：2024-04-28

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 武旭 , 胡亘宇 , 罗雨轩 , 刘松柢 , 张天澍 , 胡世昊 , 邵岩

IPC: B65G54/00 , B65D81/20

Abstract: 本发明提供了一种兼容多种类样品的超高真空储存与转移装置，其包括超高真空转移系统和超高真空存储系统；超高真空转移系统包括真空转移腔体、固定底座、升降台、转移系统运输架、第一CF100闸板阀、CF35闸板阀和小型离子泵；超高真空存储系统包括真空储存腔体、存储系统运输架、中转腔体、大型离子泵、多兼容磁力储样台、分子泵、第二CF100闸板阀和全量程真空计；超高真空转移系统与超高真空储存系统之间是通过第一CF100闸板阀与第二CF100闸板阀的配合连接实现可拆卸式连接。本发明结构设计合理、紧凑，实现了不同规格样品在不同设备间的转移和设备之外的存储，保证了样品的高度清洁、转移的可行性与便捷性。

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