公开(公告)号：CN114654092B

公开(公告)日：2023-03-14

申请号：CN202210415464.3

申请日：2022-04-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 赵维谦 ,  全宏升 ,  刘超 ,  邱丽荣 ,  徐可米

IPC: G01B11/24 ,  B23K26/352

Abstract: 本发明公开的一种激光微结构高效加工及精密测量的方法和装置，属于激光加工及精密监测技术领域。本发明在Z方向进行定焦和测量时，通过一对标准激光干涉仪镜组模块对称分布放置在Z向气浮运动轴模块中心的两侧，一方面能够有效避免运动传感器的阿贝误差；另一方面，相对于单个的标准激光干涉仪镜组模块，成对出现的标准激光干涉仪镜组模块将会对轴向运动的微小位移进行放大，有效的减小微位移测量误差，提高Z向加工和监测的精度。同时利用抗表面倾角变化和散射的激光差动共焦定模块来实现Z向定焦和监测。本发明能够同步实现对激光微结构的加工及精密测量，且能够提高位移传感误差精度，进而提高三维激光微结构的加工精度和测量精度。本发明还具有如下优点：整体结构鲁棒性强、稳定性高，抗外界撞击扰动。

公开(公告)号：CN114654092A

公开(公告)日：2022-06-24

申请号：CN202210415464.3

申请日：2022-04-18

Applicant: 北京理工大学

Inventor： 赵维谦 ,  全宏升 ,  刘超 ,  邱丽荣 ,  徐可米

IPC: B23K26/352 ,  B23K26/064 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开的一种激光微结构高效加工及精密测量的方法和装置，属于激光加工及精密监测技术领域。本发明在Z方向进行定焦和测量时，通过一对标准激光干涉仪镜组模块对称分布放置在Z向气浮运动轴模块中心的两侧，一方面能够有效避免运动传感器的阿贝误差；另一方面，相对于单个的标准激光干涉仪镜组模块，成对出现的标准激光干涉仪镜组模块将会对轴向运动的微小位移进行放大，有效的减小微位移测量误差，提高Z向加工和监测的精度。同时利用抗表面倾角变化和散射的激光差动共焦定模块来实现Z向定焦和监测。本发明能够同步实现对激光微结构的加工及精密测量，且能够提高位移传感误差精度，进而提高三维激光微结构的加工精度和测量精度。本发明还具有如下优点：整体结构鲁棒性强、稳定性高，抗外界撞击扰动。