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公开(公告)号：CN114182235B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202010959614.8
申请日：2020-09-14
Applicant: 北京环境特性研究所 , 中国长峰机电技术研究设计院 , 北京遥感设备研究所
IPC: C23C16/52 , C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种建立生长室内气体平衡流场的方法，其特征在于，所述方法为：通过控制生长室容积、生长室温度、载气流速和源化合物浓度而建立生长室内气体平衡流场。本发明从生长室容积、生长室温度、载气流速和源化合物浓度这四个方面入手来建立生长室内气体平衡流场，从而确定最适合薄膜均匀稳定生长的平衡流场条件，优化工艺参数制备出透过性高、纯度高、致密性好的薄膜。
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公开(公告)号：CN112133638B
公开(公告)日：2023-06-16
申请号：CN202010351032.1
申请日：2020-04-28
Applicant: 北京环境特性研究所 , 中国长峰机电技术研究设计院 , 北京遥感设备研究所
IPC: H01L21/365 , H01L31/0296 , H01L31/09 , H01L31/101 , C23C16/40 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本发明涉及一种基于前驱体溶液控制ZnO膜成膜厚度的方法及其应用。该方法通过将前驱体溶液通过化学气相沉积法得到ZnO膜，所述前驱体溶液为添加有乙酸的乙酸锌水溶液，通过控制乙酸在前驱体溶液中的浓度来控制ZnO膜的成膜厚度；其中，乙酸在前驱体溶液中的浓度为0.06‑0.09。本发明通过调节前驱体溶液中的乙酸浓度来控制热解反应及ZnO高温结晶生长速度，进而非常有效地改变ZnO薄膜厚度；本发明将乙酸在前驱体溶液中的浓度控制在0.06‑0.09，找到了最适合ZnO薄膜均匀稳定生长的乙酸浓度，并能够达到利用乙酸浓度调控薄膜厚度在百纳米级的变化，成膜厚度从200nm～400nm可调。
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公开(公告)号：CN114578856A
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN202210209219.7
申请日：2022-03-03
Applicant: 北京环境特性研究所
IPC: G05D1/10
Abstract: 本发明涉及固定翼无人机光电分析技术领域，特别涉及一种固定翼无人机编队运动特性场景表征方法、电子设备及存储介质，该方法包括：对于固定翼无人机编队所包括的各固定翼无人机，建立固定翼无人机坐标系；基于固定翼无人机坐标系、作用力和力矩，构建固定翼无人机的运动学方程组和动力学方程组；根据各固定翼无人机之间的通信关系，构建固定翼无人机编队的通信拓扑结构；基于得到的通信拓扑结构、运动学方程组和动力学方程组，计算固定翼无人机编队随时间变化的运动场景模型；基于运动场景模型及预设的日照条件，计算固定翼无人机编队的红外辐射特性。本方案能够实现对固定翼无人机编队整体的时变编队运动特性表征。
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公开(公告)号：CN112133638A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010351032.1
申请日：2020-04-28
Applicant: 北京环境特性研究所 , 中国长峰机电技术研究设计院 , 北京遥感设备研究所
IPC: H01L21/365 , H01L31/0296 , H01L31/09 , H01L31/101 , C23C16/40 , C23C16/448 , C23C16/52
Abstract: 本发明涉及一种基于前驱体溶液控制ZnO膜成膜厚度的方法及其应用。该方法通过将前驱体溶液通过化学气相沉积法得到ZnO膜，所述前驱体溶液为添加有乙酸的乙酸锌水溶液，通过控制乙酸在前驱体溶液中的浓度来控制ZnO膜的成膜厚度；其中，乙酸在前驱体溶液中的浓度为0.06‑0.09。本发明通过调节前驱体溶液中的乙酸浓度来控制热解反应及ZnO高温结晶生长速度，进而非常有效地改变ZnO薄膜厚度；本发明将乙酸在前驱体溶液中的浓度控制在0.06‑0.09，找到了最适合ZnO薄膜均匀稳定生长的乙酸浓度，并能够达到利用乙酸浓度调控薄膜厚度在百纳米级的变化，成膜厚度从200nm～400nm可调。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112129235A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202010352156.1
申请日：2020-04-28
Applicant: 北京环境特性研究所 , 中国长峰机电技术研究设计院 , 北京遥感设备研究所
IPC: G01B11/06
Abstract: 本发明涉及一种基于透过率光谱的快速无损获得透明薄膜厚度的方法。所述方法包括如下步骤：获得透明薄膜的透过率光谱；分别连接相邻两波峰、相邻两波谷，做出光谱曲线的包络线；标记相邻两个波峰所在位置，将两个波峰的波长分别记为λ1、λ2，然后分别标记两个波峰与包络线相交处的透射率的最大值、最小值，分别记为TM1，Tm1和TM2，Tm2；分别计算λ1、λ2处的折射率n1和n2；根据两相邻波峰的折射率，按照如下公式计算透明薄膜厚度d。该方法利用透过率光谱来计算透明薄膜厚度，快速、便捷、无损伤，不影响薄膜的二次加工及后续工艺，可随时检测薄膜的成膜质量。
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公开(公告)号：CN114578856B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202210209219.7
申请日：2022-03-03
Applicant: 北京环境特性研究所
Abstract: 本发明涉及固定翼无人机光电分析技术领域，特别涉及一种固定翼无人机编队运动特性场景表征方法、电子设备及存储介质，该方法包括：对于固定翼无人机编队所包括的各固定翼无人机，建立固定翼无人机坐标系；基于固定翼无人机坐标系、作用力和力矩，构建固定翼无人机的运动学方程组和动力学方程组；根据各固定翼无人机之间的通信关系，构建固定翼无人机编队的通信拓扑结构；基于得到的通信拓扑结构、运动学方程组和动力学方程组，计算固定翼无人机编队随时间变化的运动场景模型；基于运动场景模型及预设的日照条件，计算固定翼无人机编队的红外辐射特性。本方案能够实现对固定翼无人机编队整体的时变编队运动特性表征。
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公开(公告)号：CN114182235A
公开(公告)日：2022-03-15
申请号：CN202010959614.8
申请日：2020-09-14
Applicant: 北京环境特性研究所 , 中国长峰机电技术研究设计院 , 北京遥感设备研究所
IPC: C23C16/52 , C23C16/40 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及一种建立生长室内气体平衡流场的方法，其特征在于，所述方法为：通过控制生长室容积、生长室温度、载气流速和源化合物浓度而建立生长室内气体平衡流场。本发明从生长室容积、生长室温度、载气流速和源化合物浓度这四个方面入手来建立生长室内气体平衡流场，从而确定最适合薄膜均匀稳定生长的平衡流场条件，优化工艺参数制备出透过性高、纯度高、致密性好的薄膜。
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公开(公告)号：CN108385089B
公开(公告)日：2019-10-29
申请号：CN201810186855.6
申请日：2018-03-07
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及超声雾化热解沉积装置及利用该装置制备薄膜的方法。该装置包括气相生长剂产生室和热解沉积薄膜生长室；气相生长剂产生室包括雾化箱，雾化瓶，超声雾化振荡器，载气进气管和载气出气管，并且载气进气管和载气出气管在雾化瓶内的管口的位置在高度方向上相对于彼此可调；超声雾化振荡器固定在雾化箱内；雾化瓶置于超声雾化振荡器的上；热解沉积薄膜生长室包括锥形生长仓和控温加热装置，在其仓腔底部设置有薄膜生长衬底，在仓腔内靠近顶部的位置设置有整流装置。利用该装置和方法可制得透明、厚度均匀的薄膜，并且所用生长源价格低、工艺简单、制备周期短。
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公开(公告)号：CN108385089A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810186855.6
申请日：2018-03-07
IPC: C23C16/448 , C23C16/455
Abstract: 本发明涉及超声雾化热解沉积装置及利用该装置制备薄膜的方法。该装置包括气相生长剂产生室和热解沉积薄膜生长室；气相生长剂产生室包括雾化箱，雾化瓶，超声雾化振荡器，载气进气管和载气出气管，并且载气进气管和载气出气管在雾化瓶内的管口的位置在高度方向上相对于彼此可调；超声雾化振荡器固定在雾化箱内；雾化瓶置于超声雾化振荡器的上；热解沉积薄膜生长室包括锥形生长仓和控温加热装置，在其仓腔底部设置有薄膜生长衬底，在仓腔内靠近顶部的位置设置有整流装置。利用该装置和方法可制得透明、厚度均匀的薄膜，并且所用生长源价格低、工艺简单、制备周期短。
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