公开(公告)号：CN101752431A

公开(公告)日：2010-06-23

申请号：CN200910243035.7

申请日：2009-12-22

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 屈飞 ,  李弢 ,  王磊 ,  蒋文文

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  C23C14/34

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明属于太阳能电池技术领域，特别涉及一种太阳能电池隔离层及其制备方法。在不锈钢箔基底上以水蒸气作为反应气体，采用反应溅射法制备Er2O3隔离层：安装靶材，调节靶基距；抽真空至真空度不大于3.0×10-3pa，将基底加热至600～700℃；通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.01～0.04Pa，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，沉积20～40分钟，得Er2O3隔离层。反应溅射提高了溅射效率，水蒸气作为反应气体，同时防止了靶材表面和不锈钢箔的氧化，提高了沉积速率的可控性，可满足工业化制备要求，制备的Er2O3隔离层结晶较好。

公开(公告)号：CN101724819A

公开(公告)日：2010-06-09

申请号：CN200910243034.2

申请日：2009-12-22

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 屈飞 ,  李弢 ,  王磊 ,  蒋文文

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明属于反应溅射技术领域，特别涉及一种制备Er2O3涂层的方法。将石英基底放置在加热器上，安装靶材，调节靶基距；抽真空至真空度不大于3.0×10-3Pa，将基底加热至700～800℃；通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.04～0.08Pa，开溅射，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，移开挡板，开始沉积；沉积20～40分钟后，关挡板，关溅射，断开氩气和水蒸气，切断加热电源，关真空系统，得Er2O3涂层。本发明反应溅射提高了溅射效率，水蒸气作为反应气体，同时防止了靶材表面的氧化，提高了沉积速率的可控性。本发明是一种沉积速率既快又可控的Er2O3涂层制备方法。

公开(公告)号：CN101724819B

公开(公告)日：2011-08-31

申请号：CN200910243034.2

申请日：2009-12-22

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 屈飞 ,  李弢 ,  王磊 ,  蒋文文

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/08

Abstract: 本发明属于反应溅射技术领域，特别涉及一种制备Er2O3涂层的方法。将石英基底放置在加热器上，安装靶材，调节靶基距；抽真空至真空度不大于3.0×10-3pa，将基底加热至700～800℃；通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.04～0.08pa，开溅射，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，移开挡板，开始沉积；沉积20～40分钟后，关挡板，关溅射，断开氩气和水蒸气，切断加热电源，关真空系统，得Er2O3涂层。本发明反应溅射提高了溅射效率，水蒸气作为反应气体，同时防止了靶材表面的氧化，提高了沉积速率的可控性。本发明是一种沉积速率既快又可控的Er2O3涂层制备方法。

公开(公告)号：CN101752431B

公开(公告)日：2011-06-22

申请号：CN200910243035.7

申请日：2009-12-22

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 屈飞 ,  李弢 ,  王磊 ,  蒋文文

IPC: H01L31/0216 ,  H01L31/18 ,  C23C14/34

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明属于太阳能电池技术领域，特别涉及一种太阳能电池隔离层及其制备方法。在不锈钢箔基底上以水蒸气作为反应气体，采用反应溅射法制备Er2O3隔离层：安装靶材，调节靶基距；抽真空至真空度不大于3.0×10-3pa，将基底加热至600～700℃；通入氩气和水蒸气，将气压调至0.1～0.8Pa，其中水分压为0.01～0.04Pa，将溅射功率增加至80～100W，辉光稳定后，沉积20～40分钟，得Er2O3隔离层。反应溅射提高了溅射效率，水蒸气作为反应气体，同时防止了靶材表面和不锈钢箔的氧化，提高了沉积速率的可控性，可满足工业化制备要求，制备的Er2O3隔离层结晶较好。