公开(公告)号：CN106895801A

公开(公告)日：2017-06-27

申请号：CN201510957009.6

申请日：2015-12-18

Applicant: 北京有色金属研究总院

Inventor： 刘鹏宇 ,  聂帅 ,  田佳 ,  刘兵 ,  李娜

IPC: G01B15/02 ,  G01N27/68

CPC classification number: G01B15/02 ,  G01N27/68

Abstract: 本发明涉及一种钕铁硼合金镀层厚度的测定方法，属于镀层检测技术领域。用无水乙醇清洗钕铁硼合金镀层表面，氮气吹干；采用辉光放电质谱法对合金镀层进行全元素定性测定，判定其镀层种类；调整GD-MS仪器放电电流为20mA、放电气体Ar流量为400mL/min，对各镀层采用相应的透镜参数；对合金镀层进行不间断溅射，每隔15秒收集1次数据，直至Fe元素含量出现直线上升，停止溅射；用所得数据绘制元素质量分数-溅射时间分布图，从图上找出各层交界点，得到在每层镀层中的溅射时间；由各层的溅射速率和溅射时间，计算每个镀层厚度。本发明方法简单易操作，准确度较高。