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公开(公告)号:CN1066367C
公开(公告)日:2001-05-30
申请号:CN98124722.9
申请日:1998-11-12
Applicant: 北京有色金属研究总院
IPC: B22D23/06
Abstract: 本发明涉及电子束熔炼法制造用于生产钼电极坯和钼流口坯的金属钼棒的方法。该法以棒状金属钼为原料,在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼,炉体内的压强为5×10-1~1×10-3Pa,电子枪室内的压强为1×10-2~1×10-4Pa,电子枪电压2~2.5万伏,电流2-7安培,而制成产品,该法生产出的产品密度大,纯度高,耐熔融高温物料的冲刷和腐蚀,使用寿命长,原料可回收,工艺简单,成本低廉。
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公开(公告)号:CN1253865A
公开(公告)日:2000-05-24
申请号:CN98124722.9
申请日:1998-11-12
Applicant: 北京有色金属研究总院
IPC: B22D23/06
Abstract: 本发明涉及电子束熔炼法制造钼电极坯和钼流口坯的方法。该法以棒状金属钼为原料,在电磁聚焦电子束熔炼炉中熔炼,炉体内的压强为5×10-1~1×10-3Pa,电子枪室内的压强为1×10-2~1×10-4Pa,电子枪电压2~2.5万伏,电流2—7安培,而制成产品,该法生产出的产品密度大,纯度高,耐熔融高温物料的冲刷和腐蚀,使用寿命长,原料可回收,工艺简单,成本低廉。
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公开(公告)号:CN201003079Y
公开(公告)日:2008-01-09
申请号:CN200620134195.X
申请日:2006-10-30
Applicant: 北京有色金属研究总院
IPC: C30B15/04
Abstract: 一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置,它包括装置主体,一个置于主体内的石英材质的掺杂工具,所述的装置主体包括:真空波纹管,移动挡板,真空波纹管的一端与移动挡板连接,形成密封,挡板套在金属丝杆上,金属丝杆连接手柄,移动挡板与导柱配合,真空波纹管的另一端与底板连接;所述的掺杂工具接在位于移动挡板内侧的卡套内。该装置结构紧凑,操作方便,不需要隔离上下炉室和重装籽晶。
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公开(公告)号:CN201128210Y
公开(公告)日:2008-10-08
申请号:CN200720190355.7
申请日:2007-11-26
Applicant: 北京有色金属研究总院 , 有研半导体材料股份有限公司 , 国泰半导体材料有限公司
Abstract: 一种区熔多晶切六棱锥装置,它包括:操作平台,平台上装有沿导轨匀速左右运动的支架,支架上安装有卡具,卡具上安装有多晶棒料;多晶料棒的轴向同导轨轴呈一夹角α,且0°<α<90°,平台上还装有一个切割装置,该切割装置包括:支撑装置、切割刀片,切割刀片连接在轴承套上,并整体安装在支撑装置上,该切割刀片的转动平面同轴承套轴垂直,切割刀片的平面与导轨运动方向平行。本实用新型的有益效果是,切割掉的硅块可以被回收利用。同时该装置结构简单,容易实现。
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