一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置

    公开(公告)号:CN201003079Y

    公开(公告)日:2008-01-09

    申请号:CN200620134195.X

    申请日:2006-10-30

    Abstract: 一种用于直拉单晶硅制备中的掺杂装置,它包括装置主体,一个置于主体内的石英材质的掺杂工具,所述的装置主体包括:真空波纹管,移动挡板,真空波纹管的一端与移动挡板连接,形成密封,挡板套在金属丝杆上,金属丝杆连接手柄,移动挡板与导柱配合,真空波纹管的另一端与底板连接;所述的掺杂工具接在位于移动挡板内侧的卡套内。该装置结构紧凑,操作方便,不需要隔离上下炉室和重装籽晶。

Patent Agency Ranking