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公开(公告)号：CN109866084A
公开(公告)日：2019-06-11
申请号：CN201910276663.9
申请日：2019-04-08
Applicant: 北京建筑大学
Abstract: 本发明涉及一种UV光催化辅助氮化镓化学机械抛光装置及抛光方法。所述UV光催化辅助化学机械抛光装置，包括：工作台，其表面设有抛光垫；高透光载具，位于所述抛光垫上方，用于固定待抛光处理的工件；旋转套，用于固定并带动所述高透光载具及工件在所述抛光垫上旋转；UV光源，位于所述高透光载具的正上方，其能够朝向正下方射出平行UV光线；保持环模板，位于所述旋转套或所述高透光载具的下方，用于固定待抛光处理的工件。采用本发明所述方法，可大幅度提高氮化镓的去除率，进而提高氮化铝材料平坦化精度、表面质量和抛光效率，延长其使用寿命。
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