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公开(公告)号：CN108414581A
公开(公告)日：2018-08-17
申请号：CN201710071766.2
申请日：2017-02-09
Applicant: 北京市劳动保护科学研究所
IPC: G01N27/12
Abstract: 本发明提供了一种微型多维传感器及制造方法，微型多维传感器包括：基底以及设置在基底上的第一绝缘层；第一绝缘层上设置有加热层；所述加热层上设置有第二绝缘层；第二绝缘层上设置有电极层，所述电极层包括N个相互独立的电极，所述N个相互独立的电极在沿所述电极层的水平方向上依次间隔分布，N≥3；所述电极层上设置有敏感层，所述敏感层包括N-1个相互独立的敏感膜；所述N-1个相互独立的敏感膜在沿所述敏感层的水平方向上依次间隔分布，且每个敏感膜覆盖在相邻的两个电极之上；所述N-1个相互独立的敏感膜分别采用不同的敏感材料制备，用于检测不同的气体。本发明提供的微型多维传感器能够提高气体检测灵敏度，同时扩大气体检测范围。
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公开(公告)号：CN108279192A
公开(公告)日：2018-07-13
申请号：CN201810084549.1
申请日：2018-01-29
Applicant: 北京市劳动保护科学研究所 , 中国科学院电子学研究所
IPC: G01N15/02
Abstract: 本发明涉及粉尘检测技术领域，具体涉及了一种可吸入颗粒物粒径分级装置，包括依次密封设置的盖板、硅板和电路板，所述硅板上开设多条用以颗粒物通过的通道槽，相邻的所述通道槽相连通以形成三通的分离岔口，所述分离岔口用以对不同粒径的颗粒物进行分离。本发明提供的一种可吸入颗粒物粒径分级装置，可吸入颗粒物分级分离芯片采用了微流控技术，可以实现不同粒径的PM分离与分级；采用微流控技术，分离效率高、体积小、成本低、可批量化生产。
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公开(公告)号：CN207751834U
公开(公告)日：2018-08-21
申请号：CN201820147547.8
申请日：2018-01-29
Applicant: 北京市劳动保护科学研究所 , 中国科学院电子学研究所
IPC: G01N15/02
Abstract: 本实用新型涉及粉尘检测技术领域，具体涉及了一种可吸入颗粒物粒径分级装置，包括依次密封设置的盖板、硅板和电路板，所述硅板上开设多条用以颗粒物通过的通道槽，相邻的所述通道槽相连通以形成三通的分离岔口，所述分离岔口用以对不同粒径的颗粒物进行分离。本实用新型提供的一种可吸入颗粒物粒径分级装置，可吸入颗粒物分级分离芯片采用了微流控技术，可以实现不同粒径的PM分离与分级；采用微流控技术，分离效率高、体积小、成本低、可批量化生产。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206618718U
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201720121453.9
申请日：2017-02-09
Applicant: 北京市劳动保护科学研究所
IPC: G01N27/12
Abstract: 本实用新型提供了一种微型多维传感器，微型多维传感器包括：基底以及设置在基底上的第一绝缘层；第一绝缘层上设置有加热层；所述加热层上设置有第二绝缘层；第二绝缘层上设置有电极层，所述电极层包括N个相互独立的电极，所述N个相互独立的电极在沿所述电极层的水平方向上依次间隔分布，N≥3；所述电极层上设置有敏感层，所述敏感层包括N-1个相互独立的敏感膜；所述N-1个相互独立的敏感膜在沿所述敏感层的水平方向上依次间隔分布，且每个敏感膜覆盖在相邻的两个电极之上；所述N-1个相互独立的敏感膜分别采用不同的敏感材料制备，用于检测不同的气体。本实用新型提供的微型多维传感器能够提高气体检测灵敏度，同时扩大气体检测范围。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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