公开(公告)号：CN104460005B

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201410654703.6

申请日：2014-11-17

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 靳羽华 ,  蒋毅坚 ,  赵艳

IPC: G02B27/09

Abstract: 一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法，属于激光外光路系统的设计及其应用领域。通过使用激光光束分析仪拍摄得到准分子激光光斑能量分布图像(1)，将像素所携带的光能量强度信息量化并根据微透镜单元所形成的光通道划分成网格区域，分别选择围绕光轴对称、光能量互补的一对区域计算其像素所表示的光能量通过其光通道(2)在均束平面(3)上的落点位置，根据两光通道在均束平面叠加后的均束效果优化光通道中微透镜单元的光学参数。重复该过程并应用于所有关于光轴对称的光通道，最终可以得到具有良好均束效果的光学系统。本发明以显著提升准分子激光微透镜阵列均束装置的均束效果。

公开(公告)号：CN104460005A

公开(公告)日：2015-03-25

申请号：CN201410654703.6

申请日：2014-11-17

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 靳羽华 ,  蒋毅坚 ,  赵艳

IPC: G02B27/09

CPC classification number: G02B27/0961 ,  G02B27/0927

Abstract: 一种优化准分子激光微透镜阵列均束装置的方法，属于激光外光路系统的设计及其应用领域。通过使用激光光束分析仪拍摄得到准分子激光光斑能量分布图像(1)，将像素所携带的光能量强度信息量化并根据微透镜单元所形成的光通道划分成网格区域，分别选择围绕光轴对称、光能量互补的一对区域计算其像素所表示的光能量通过其光通道(2)在均束平面(3)上的落点位置，根据两光通道在均束平面叠加后的均束效果优化光通道中微透镜单元的光学参数。重复该过程并应用于所有关于光轴对称的光通道，最终可以得到具有良好均束效果的光学系统。本发明以显著提升准分子激光微透镜阵列均束装置的均束效果。

公开(公告)号：CN203149208U

公开(公告)日：2013-08-21

申请号：CN201220748699.6

申请日：2012-12-30

Applicant: 北京工业大学

Inventor： 蒋毅坚 ,  靳羽华 ,  赵艳

IPC: G02B27/09 ,  B23K26/06 ,  B23K26/073

Abstract: 一种准分子激光整形均束装置，属于激光加工及其应用技术领域。包括依次布置的第一微透镜阵列（1）,第二透微镜阵列（2），球面傅立叶透镜（3），聚焦靶面（4），所述的第一微透镜阵列（1）、第二透微镜阵列（2）、球面傅立叶透镜（3）、聚焦靶面（4）固定在在滑动机械槽（5）内。该装置具有同时对准分子激光进行整形和均束的能力，可以很大的扩展准分子激光的应用领域。