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公开(公告)号:CN103018203A
公开(公告)日:2013-04-03
申请号:CN201210526631.8
申请日:2012-12-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法和系统,包括发射光路系统、接收光路系统、分光棱镜反射光路系统、以及分光棱镜透射光路系统,通过移动载物平移台,依次改变探测主点位置,针对每个探测主点位置,用压电陶瓷平移台产生相移,获取一组定步长相移干涉图,直到达到要求的探测深度,对于获得的多组定步长相移干涉图,分别进行相移去镜像和直流项处理,得到m幅与探测主点位置对应的无镜像和直流项样品层析图;分别截取每幅样品层析图中心位置横向前后各N/2个像素,得到m幅截取图像,将按探测方向排列的m幅截取图像合成为一张层析图。
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公开(公告)号:CN103018203B
公开(公告)日:2015-06-17
申请号:CN201210526631.8
申请日:2012-12-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及移位复用复频域光学相干层析扫描探测方法和系统,包括发射光路系统、接收光路系统、分光棱镜反射光路系统、以及分光棱镜透射光路系统,通过移动载物平移台,依次改变探测主点位置,针对每个探测主点位置,用压电陶瓷平移台产生相移,获取一组定步长相移干涉图,直到达到要求的探测深度,对于获得的多组定步长相移干涉图,分别进行相移去镜像和直流项处理,得到m幅与探测主点位置对应的无镜像和直流项样品层析图;分别截取每幅样品层析图中心位置横向前后各N/2个像素,得到m幅截取图像,将按探测方向排列的m幅截取图像合成为一张层析图。
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