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公开(公告)号：CN1225340C
公开(公告)日：2005-11-02
申请号：CN03136180.3
申请日：2003-05-19
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统主要涉及微型轴对称零部件的加工。本发明首先将被加工工件(7)通过准轴调节装置(8)、旋转工作台(9)固定在位移工作台(10)上；然后调整工件的旋转轴线与旋转工作台的旋转轴线重合；启动准分子激光器(2)使激光束依次经过第一反射镜(3)、第二反射镜(4)、第三反射镜(5)、聚焦物镜(6)后聚焦在与工件(7)所需加工处的旋转半径相切处；通过计算机(1)转动旋转工作台(9)并移动位移工作台(10)，使工件上所需去除材料依次经过激光束的聚焦点后被刻蚀掉。本发明在刻蚀微型零部件上多余材料时能够得到光洁平整的表面及高的加工精度，并且消除了抛光过程中工件易损环的问题。
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公开(公告)号：CN1456414A
公开(公告)日：2003-11-19
申请号：CN03136180.3
申请日：2003-05-19
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统主要涉及微型轴对称零部件的加工。本发明首先将被加工工件(7)通过准轴调节装置(8)、旋转工作台(9)固定在位移工作台(10)上；然后调整工件(7)的旋转轴线与旋转工作台(9)的旋转轴线重合；启动准分子激光器(2)使激光束依次经过反射镜(3)、反射镜(4)、反射镜(5)、聚焦物镜(7)后聚焦在与工件(7)所需加工处的旋转半径相切处；通过计算机(1)转动旋转工作台(9)并移动位移工作台(10)，使工件(7)上所需去除材料依次经过激光束的聚焦点后被刻蚀掉。本发明在刻蚀微型零部件上多余材料时能够得到光洁平整的表面及高的加工精度，并且消除了抛光过程中工件易损坏的问题。
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